プラズマ重合BCB膜成長技術と銅ダマシン配線への適用
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概要
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- 1999-12-09
著者
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小野寺 貴弘
NECエレクトロニクスLSI基礎開発研究所
-
斉藤 忍
NECシステムデバイス研究所
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林 喜宏
NECシステムデバイス研究所
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林 喜宏
NECシリコンシステム研究所
-
斎藤 忍
Necエレクトロニクスlsi基礎開発研究所
-
林 喜宏
半導体MIRAI-ASET
-
木下 啓蔵
NEC
-
林 喜宏
マイクロエレクトロニクス研究所
-
川原 潤
Necエレクトロニクス
-
川原 潤
NECシリコンシステム研究所
-
木下 啓蔵
NECシリコンシステム研究所
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斉藤 忍
NECシリコンシステム研究所
-
小野寺 貴弘
NECシリコンシステム研究所
-
高橋 宗司
NECシリコンシステム研究所
-
木下 啓蔵
半導体先端テクノロジーズ
-
川原 潤
ルネサスエレクトロニクス先行研究統括部
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