InGaZnOチャネルの酸素制御と Gate/Drain Offset 構造によるBEOLトランジスタの高信頼化

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概要

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• 2012-02-27

著者

• 林 喜宏

  ルネサスエレクトロニクス

• 川原 潤

  ルネサスエレクトロニクス先行研究統括部

• 井上 尚也

  ルネサスエレクトロニクス先行研究統括部

• 金子 貴昭

  ルネサスエレクトロニクス先行研究統括部

• 古武 直也

  ルネサスエレクトロニクス先行研究統括部

• 砂村 潤

  ルネサスエレクトロニクス先行研究統括部

• 羽根 正巳

  ルネサスエレクトロニクス(株)

• 齋藤 忍

  ルネサスエレクトロニクス 先行研究統括部

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