固体電解質を用いたナノスイッチ(新メモリ技術,メモリ応用技術,一般)
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概要
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固体電解質は金属イオンがその中を自由に動くことで知られている。本固体電解質を2種類の金属で挟んだ2端子素子はスイッチとして機能し、ある値以上の電圧を印加することで、電子伝導度が数桁にわたり変化する。各伝導状態はほぼ不揮発的に保たれるため、メモリ等のエレクトロニクス応用が期待される。本報告では、硫化銅を用いた固体電解質ナノスイッチの詳細な電気特性評価を行うと共に、そのスイッチング機構を明らかにする。さらに、本固体電解質ナノスイッチを用いた1Kbit不揮発性メモリのテストチップについて述べる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-04-16
著者
-
長谷川 剛
物質・材料研究機構国際ナノアーキテクトニクス
-
寺部 一弥
無機材質研
-
青野 正和
大阪大学大学院工学研究科
-
青野 正和
物材機構mana
-
水野 正之
Necシステムデバイス研究所
-
水野 正之
日本電気株式会社デバイスプラットフォーム研究所
-
水野 正之
日本電気株式会社
-
寺部 一弥
ナノマテリアル研究所
-
桑原 祐司
理研
-
川浦 久雄
日本電気(株)ビジネスイノベーションセンター
-
阪本 利司
日本電気(株)デバイスプラットフォーム研究所
-
帰山 隼一
日本電気(株)デバイスプラットフォーム研究所
-
寺部 一弥
物質・材料研究機構 ナノシステム機能センター
-
青野 正和
物質・材料研究機構 ナノシステム機能センター
-
阪本 利司
NEC基礎・環境研究所
-
帰山 隼一
NECシステムデバイス研究所
-
川浦 久雄
NEC基礎・環境研究所
-
砂村 潤
NEC基礎・環境研究所
-
中山 知信
物質・材料研究機構
-
寺部 一弥
物質材料研究機構ナノマテリアル研究所
-
阪本 利司
Necデバイスプラットフォーム研究所
-
青野 正和
大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻
-
中山 知信
物材機構mana:筑波大院
-
阪本 利司
Nec 基礎・環境研
-
阪本 利司
日本電気(株)基礎・環境研究所
-
砂村 潤
Nec基礎・環境研究所:科学技術振興機構
-
砂村 潤
日本電気株式会社
-
寺部 一弥
物質・材料研究機構国際ナノアーキテクトニクス
-
砂村 潤
ルネサスエレクトロニクス先行研究統括部
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