LN, LTのエッチングによるナノ表面加工(機能性結晶III)
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概要
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Surface engineering of near-stoichiometric LiNbO_3 (SLN) and LiTaO_3 crystals was investigated by using a scanning force microscope (SFM). As compared to a congruent LiNbO_3 crystal, etching rate of SLN was slow in (HF+HNO_3) solution and the etched surface was smooth. Artificial patterns of inverted-domain structure were fabricated by using SFM, and then were etched in the solution. As result, nanoscale cavity and ridge-shaped surfaces were fabricated.
- 日本結晶成長学会の論文
- 2003-07-05
著者
-
寺部 一弥
無機材質研
-
中村 優
物質・材料研究機構
-
竹川 俊二
株式会社swing
-
竹川 俊二
(独)物質・材料研究機構物質研究所
-
北村 健二
株式会社SWING
-
北村 健二
独立行政法人 物質・材料研究機構 光材料センター
-
北村 健二
物材機構
-
劉 曉燕
物質・材料研究機構、物質研究所
-
寺部 一弥
ナノマテリアル研究所
-
樋口 慎二
物質・材料研究機構、物質研究所
-
竹川 俊二
物質・材料研究機構、物質研究所
-
北村 健二
物質・材料研究機構、物質研究所
-
北村 健二
物質・材料研究機構
-
北村 健二
物質・材料研究機構 物質研究所
-
寺部 一弥
物質材料研究機構ナノマテリアル研究所
-
寺部 一弥
物質・材料研究機構国際ナノアーキテクトニクス
-
北村 健二
独立行政法人物資・材料研究機構
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