定比組成ニオブ酸リチウム結晶に対するTi拡散と導波路形成
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概要
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定比組成ニオブ酸リチウム(SLN)結晶に対してTi拡散スラブ導波路を形成し、光学的(633nm)に拡散定数を求めることで、結晶方位、組成比による拡散の違いを明らかにした。SLN結晶は従来市販されている一致溶融組成ニオブ酸リチウム(CLN)結晶に比べ拡散定数が小さくなり、さらにはX、Z方向に対してほぼ等方的に拡散することがわかった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-12-07
著者
-
中島 啓幾
早稲田大学先進理工学研究科
-
北村 健二
株式会社SWING
-
北村 健二
物材機構
-
北村 健二
物質・材料研究機構
-
栗村 直
物質・材料研究機構:早稲田大学先進理工学研究科
-
栗村 直
物質・材料研究機構
-
幸 雅洋
早稲田大学 理工学部
-
岡 孝裕
理工学研究科
-
山内 大史
理工学総合研究センター
-
中島 啓機
早稲田大学 理工学部
-
栗村 直
理工学研究科
-
北村 健二
理工学総合研究センター
-
栗村 直
独立行政法人物質・材料研究機構ナノマテリアル研究所
-
中島 啓機
早稲田大学理工学研究科
-
北村 健二
独立行政法人物資・材料研究機構
-
岡 孝裕
早稲田大学 理工学部/理工学研究科/理工学総合研究センター
-
山内 大史
早稲田大学 理工学部/理工学研究科/理工学総合研究センター
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