3次元IC (半導体デバイス<特集>)
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概要
著者
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林 喜宏
NECシリコンシステム研究所
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國尾 武光
Necマイクロエレクトロニクス研究所
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林 喜宏
マイクロエレクトロニクス研究所
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林 喜宏
Necエレクトロニクス Lsi基礎開研
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遠藤 伸裕
日本電気株式会社マイクロエレクトロニクス研究所
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