触媒反応生成高エネルギーH_2Oを用いて成長したZnO/a-Al_2O_3膜の電気伝導特性 : 二層モデルによる解析(酸化物,酸化物エレクトロニクス,一般)
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概要
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白金ナノ粒子表面での水素と酸素の発熱反応を利用して高エネルギーH_2Oを生成、アルキル亜鉛ガスと衝突させ形成した高エネルギーZnOプリカーサを基板に供給、サファイアA面基板上にZnO結晶膜を成長させた。様々な厚さのZnO膜を成長させそれらの電気伝導特性を調べたところ、約3μmまで膜厚の増加に伴い移動度は大きくなった。格子ミスマッチの大きなサファイア基板上では、成長初期に高欠陥密度の縮退層が形成されていると考えられるため、膜上部の高品位結晶層と下部の縮退層からなるという二層モデルを用いて高品位結晶層の移動度を求めたところ膜全体の測定値より大きな値になると評価された。ただ、二層モデルでは完全には補正できていないことも推察された。
- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 2012-06-15
著者
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