陽極酸化によるアルミニウム表面への不動態膜形成技術
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概要
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非水系電解液中にて形成したアルミニウムーマグネシウム合金のバリア型陽極酸化膜は不動態膜として優れた特徴を有している。酸化膜表面のマイクロラフネスは、水溶液系電解液による酸化膜に比べて非常に小さい。また高い温度においても、バリア型陽極酸化膜は熱クラック等を生成せず、酸化膜からのアウトガスとしての放出水分量も非常に少ない。更に陽極酸化膜は、腐蝕性を有するプロセスガスに対しても、顕著な耐蝕性を示す。非水系電解液中における陽極酸化によるアルミニウムーマグネシウム合金の陽極酸化膜の形成により、半導体真空チャンバー装置の表面不動態処理が可能となる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2006-09-28
著者
-
大見 忠弘
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
大見 忠弘
東北大学 未来科学技術共同研究センター
-
白井 泰雪
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
北野 真史
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
河瀬 康弘
三菱化学株式会社EL薬品事業部
-
水谷 文一
三菱化学株式会社EL薬品事業部
-
北野 真史
東北大学 未来科学技術共同研究センター
-
佐伯 雅之
日本軽金属株式会社 技術センター
-
白井 泰雪
東北大学 未来科学技術共同研究センター
-
白井 泰雪
東北大未来科学技術共同研究センター
-
佐伯 雅之
大阪大学大学院工学研究科
-
北野 真史
東北大未来科学技術共同研究センター
-
佐伯 雅之
日本軽金属(株)
-
河瀬 康弘
三菱化学株式会社
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