佐伯 雅之 | 大阪大学大学院工学研究科
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概要
関連著者
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佐伯 雅之
大阪大学大学院工学研究科
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志村 考功
大阪大学大学院工学研究科
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渡部 平司
大阪大学大学院工学研究科
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細井 卓治
大阪大学大学院工学研究科
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有村 拓晃
大阪大学大学院工学研究科
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北野 尚武
大阪大学大学院工学研究科
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大見 忠弘
東北大学未来科学技術共同研究センター
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大見 忠弘
東北大学 未来科学技術共同研究センター
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白石 賢二
筑波大院数物
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白井 泰雪
東北大学未来科学技術共同研究センター
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北野 真史
東北大学未来科学技術共同研究センター
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白石 賢二
筑波大学大学院数理物質科学研究科
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山田 啓作
筑波大学数理物質科学研究科
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白石 賢二
筑波大学
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細井 卓治
広島大学ナノデバイス・システム研究センター
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喜多 祐起
大阪大学大学院工学研究科
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河瀬 康弘
三菱化学株式会社EL薬品事業部
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水谷 文一
三菱化学株式会社EL薬品事業部
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北野 真史
東北大学 未来科学技術共同研究センター
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佐伯 雅之
日本軽金属株式会社 技術センター
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白井 泰雪
東北大学 未来科学技術共同研究センター
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白井 泰雪
東北大未来科学技術共同研究センター
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奥 雄大
大阪大学大学院工学研究科
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山田 啓作
筑波大学大学院数理物質科学研究科
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北野 真史
東北大未来科学技術共同研究センター
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佐伯 雅之
日本軽金属(株)
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大嶽 祐輝
大阪大学大学院工学研究科
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力石 薫介
大阪大学大学院工学研究科
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河瀬 康弘
三菱化学株式会社
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山田 啓作
筑波大学大学院数理物質科学研究科:JST-CREST
著作論文
- 金属電極/高誘電率絶縁膜界面の物理を中心としたhigh-k/metalゲートスタックの実効仕事関数変調機構の理解(プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般)
- 陽極酸化によるアルミニウム表面への不動態膜形成技術
- 高温熱処理によるTiN/HfLaSiO/SiO2ゲートスタック中Hf及びLa原子のTiN電極中への拡散とMIPS構造による抑制 (シリコン材料・デバイス)
- 高温熱処理によるTiN/HfLaSiO/SiO_2ゲートスタック中Hf及びLa原子のTiN電極中への拡散とMIPS構造による抑制(ゲート絶縁薄膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)