喜多 祐起 | 大阪大学大学院工学研究科
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概要
関連著者
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白石 賢二
筑波大院数物
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志村 考功
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渡部 平司
大阪大学大学院工学研究科
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筑波大学数理物質科学研究科
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筑波大学
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筑波大学大学院数理物質科学研究科:JST-CREST
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半導体先端テクノロジーズ(Selete)
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早稲田大学ナノテクノロジー研究所
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(株)富士通研究所 Ulsi研究部門
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奈良 安雄
(株)半導体先端テクノロジーズ 第一研究部
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山田 啓作
早稲田大学:筑波大学
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佐伯 雅之
大阪大学大学院工学研究科
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奥 雄大
大阪大学大学院工学研究科
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有村 拓晃
大阪大学大学院工学研究科
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北野 尚武
大阪大学大学院工学研究科
著作論文
- 金属電極とハフニウム系高誘電率ゲート絶縁膜界面の実効仕事関数変調機構(シリコン関連材料の作製と評価)
- 金属電極/高誘電率絶縁膜界面の物理を中心としたhigh-k/metalゲートスタックの実効仕事関数変調機構の理解(プロセス・デバイス・回路シミュレーション及び一般)
- 金属電極とHf系高誘電率絶縁膜界面の実効仕事関数変調機構