段階投資型半導体製造施設の研究
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概要
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システムLSI製造に適した次世代のユニット式ミニファブモデルについて紹介する.このファブモデルの特徴は,プロセスユニット,補機ユニット,搬送部ユニット等の各機能別にユニット化していることである.そのモデルの適用により,設計および施工期間の短縮が図れ,その結果マーケットニーズに即したタイムリーな設備投資が可能となる.また大規模投資ではなく小規模な段階的な投資にも有利になり,投資リスクの軽減にも繋がる.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-10-22
著者
-
大見 忠弘
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
須川 成利
東北大学 大学院 工学研究科
-
大見 忠弘
東北大学 未来科学技術共同研究センター
-
山崎 喜郎
東北大学 大学院工学研究科技術社会システム専攻
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