パーシャルトレンチ分離構造を用いたバルクレイアウト互換0.18μm SOI CMOS技術
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概要
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- 1999-12-09
著者
-
西村 正
三菱電機 (株) Ulsi技術開発センター
-
西村 正
三菱電機株式会社ulsi技術開発センター
-
川島 光
三菱電機(株)ULSI研究所LSIプロセス開発第4部
-
前川 繁登
三菱電機(株)LSI研究所
-
平野 有一
三菱電機(株)
-
前田 茂伸
三菱電機(株)
-
松本 拓治
三菱電機(株)
-
新居 浩二
三菱電機(株)
-
岩松 俊明
三菱電機(株)
-
山口 泰男
三菱電機(株)
-
一法師 隆志
三菱電機(株)
-
犬石 昌秀
三菱電機(株)
-
西村 正
三菱電機(株)
-
西村 正
三菱電機ULSI開発研究所
-
前田 茂伸
三菱電機株式会社ULSI技術開発センター
-
松本 拓治
三菱電機株式会社ULSI技術開発センター
-
山口 泰男
三菱電機(株)ulsi技術開発センター
-
山口 泰男
株式会社ルネサステクノロジ
-
山口 泰男
三菱電機(株)ulsi開発研究所
-
一法師 隆志
(株)ルネサステクノロジ先端デバイス開発部
-
犬石 昌秀
株式会社ルネサステクノロジ 先端デバイス開発部
-
犬石 昌秀
株式会社ルネサステクノロジ
-
平野 有一
(株)ルネサステクノロジ
-
岩松 俊明
(株)ルネサステクノロジ先端デバイス開発部
-
前川 繁登
(株)ルネサステクノロジ先端デバイス開発部
-
川島 光
株式会社ルネサステクノロジ
-
新居 浩二
ルネサステクノロジー
-
平野 有一
ルネサスエレクトロニクス株式会社
-
岩松 俊明
ルネサスエレクトロニクス株式会社
-
西村 正
三菱電機 Ulsi開セ
-
西村 正
三菱電機株式会社 Lsi 研究所
-
前田 茂伸
Ulsi開発センター
-
前川 繁登
(株)ルネサステクノロジ
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