BSTキャパシタにおける成膜時及びポスト処理時酸化性の影響
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概要
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- 1999-12-09
著者
-
犬石 昌秀
三菱電機(株)
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油谷 明栄
三菱電機 Ulsi技開セ
-
奥平 智仁
三菱電機(株)
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油谷 明栄
三菱電機(株)
-
柏原 慶一朗
三菱電機(株)
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常峰 美和
三菱電機(株)
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伊藤 博巳
三菱電機(株)
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犬石 昌秀
三菱電機 Ulsi技開セ
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柏原 慶一朗
(株)ルネサステクノロジ
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奥平 智仁
(株)ルネサステクノロジ
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