電極構造が高誘電体キャパシタの電気的特性に与える影響
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概要
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- 1999-06-10
著者
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西村 正
三菱電機 (株) Ulsi技術開発センター
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西村 正
三菱電機株式会社ulsi技術開発センター
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西村 正
三菱電機(株)
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西村 正
三菱電機ULSI開発研究所
-
油谷 明栄
三菱電機 Ulsi技開セ
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奥平 智仁
三菱電機(株)
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油谷 明栄
三菱電機(株)
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柏原 慶一朗
三菱電機(株)
-
常峰 美和
三菱電機(株)
-
伊藤 博巳
三菱電機(株)
-
藤田 靖
菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング
-
藤田 靖
菱電セミコンダクターエンジニアリング
-
柏原 慶一朗
(株)ルネサステクノロジ
-
奥平 智仁
(株)ルネサステクノロジ
-
西村 正
三菱電機 Ulsi開セ
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西村 正
三菱電機株式会社 Lsi 研究所
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