油谷 明栄 | 三菱電機 Ulsi技開セ
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概要
関連著者
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油谷 明栄
三菱電機 Ulsi技開セ
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常峰 美和
三菱電機(株)
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伊藤 博巳
三菱電機(株)
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柏原 慶一朗
(株)ルネサステクノロジ
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(株)ルネサステクノロジ
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藤田 靖
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藤田 靖
菱電セミコンダクターエンジニアリング
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三菱電機(株)
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三菱電機(株)
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三菱電機 Ulsi開発研究所
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三菱電機 ULSI技術開発センター
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西村 正
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三菱電機(株)
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油谷 明栄
三菱電機ULSI技術開発センター
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奥平 智仁
三菱電機ULSI技術開発センター
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常峰 美和
三菱電機ULSI技術開発センター
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花房 潔
三菱電機ULSI技術開発センター
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柏原 慶一郎
三菱電機ULSI技術開発センター
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伊藤 博巳
三菱電機ULSI技術開発センター
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三好 寛和
三菱電機ULSI技術開発センター
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犬石 昌秀
三菱電機 Ulsi技開セ
著作論文
- BSTキャパシタにおける成膜時及びポスト処理時酸化性の影響
- BSTキャパシタに対するポストアニールの影響
- 電極構造が高誘電体キャパシタの電気的特性に与える影響
- 酸素のその場ドーピングを行った白金電極上にスパッタ法で形成したBST薄膜キャパシタの電気的特性
- 酸素のその場ドーピングを行った白金電極上にスパッタ法で形成したBST薄膜キャパシタの電気的特性