藤田 靖 | 菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング

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概要

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関連著者

• 油谷 明栄

  三菱電機 Ulsi技開セ

• 常峰 美和

  三菱電機(株)

• 伊藤 博巳

  三菱電機(株)

• 藤田 靖

  菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング

• 藤田 靖

  菱電セミコンダクターエンジニアリング

• 柏原 慶一朗

  (株)ルネサステクノロジ

• 奥平 智仁

  (株)ルネサステクノロジ

• 西村 正

  三菱電機 (株) Ulsi技術開発センター

• 西村 正

  三菱電機株式会社ulsi技術開発センター

• 三好 寛和

  三菱電機 Ulsi技術開発センター

• 西村 正

  三菱電機(株)

• 西村 正

  三菱電機ULSI開発研究所

• 伊藤 博巳

  三菱電機 Ulsi開発研究所

• 奥平 智仁

  三菱電機(株)

• 油谷 明栄

  三菱電機(株)

• 柏原 慶一朗

  三菱電機(株)

• 奥平 智仁

  三菱電機 ULSI技術開発センター

• 常峰 美和

  三菱電機 ULSI技術開発センター

• 花房 潔

  三菱電機 ULSI技術開発センター

• 柏原 慶一朗

  三菱電機 ULSI技術開発センター

• 西村 正

  三菱電機 Ulsi開セ

• 西村 正

  三菱電機株式会社 Lsi 研究所

• 油谷 明栄

  三菱電機ULSI技術開発センター

• 奥平 智仁

  三菱電機ULSI技術開発センター

• 常峰 美和

  三菱電機ULSI技術開発センター

• 花房 潔

  三菱電機ULSI技術開発センター

• 柏原 慶一郎

  三菱電機ULSI技術開発センター

• 伊藤 博巳

  三菱電機ULSI技術開発センター

• 三好 寛和

  三菱電機ULSI技術開発センター

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著作論文

• BSTキャパシタに対するポストアニールの影響
• 電極構造が高誘電体キャパシタの電気的特性に与える影響
• 酸素のその場ドーピングを行った白金電極上にスパッタ法で形成したBST薄膜キャパシタの電気的特性
• 酸素のその場ドーピングを行った白金電極上にスパッタ法で形成したBST薄膜キャパシタの電気的特性

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