スタック型キャパシタ構造の薄膜SOI-DRAMプロセス
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概要
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0.5μmCMOSプロセスを用いてSIMOX基板上にスタック型SOI-DRAMを試作した。SOI,MOSFETの問題点である基板浮遊効果や寄生MOS及びソース/ドレインの寄生抵抗などを、フィールドシールド分離、ポリシリコンパット及びBSG方式を用い抑制した。バルクシリコンDRAMと比べて、アクセス時間は30%の高速動作、ビット線容量は25%の低減化を実現し、また広い動作電源電圧マージンを得た。SOI-DRAMは低電圧動作に適したDRAMであり、また、ソフトエラーフリーである事により将来のキャパシタ容量の確保が困難になると考えられる1GbitDRAMやそれ以降の世代に適したDRAMであるといえる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-05-26
著者
-
金井 直樹
北見赤十字病院耳鼻咽喉科・頭頸部外科
-
西村 正
三菱電機 (株) Ulsi技術開発センター
-
須磨 克博
三菱電機ULSI開発研究所
-
森下 玄
三菱電機ULSI開発研究所
-
栄森 貴尚
三菱電機ULSI開発研究所
-
西村 正
三菱電機ULSI開発研究所
-
木村 広嗣
三菱電機ULSI開発研究所
-
大芦 敏行
三菱電機(株)ulsi開発研究所
-
大芦 敏行
三菱電機ULSI開発研究所
-
井上 靖郎
三菱電機ULSI開発研究所
-
栄森 貴尚
三菱電機ulsi技術開発センター
-
森下 玄
(株)ルネサステクノロジシステムコア技術統括部
-
西村 正
三菱電機 Ulsi技開セ
-
西村 正
三菱電機 Ulsi開セ
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