135GHz-f_<max> 70nm SOI-CMOS技術

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概要

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• 2002-03-07

著者

• 前川 繁登

  三菱電機株式会社LSI研究所

• 前田 茂伸

  三菱電機株式会社ULSI技術開発センター

• 松本 拓治

  三菱電機株式会社ULSI技術開発センター

• 前川 繁登

  (株)ルネサステクノロジ先端デバイス開発部

• 前田 茂伸

  三菱電機株式会社 Ulsi技術開発センター

• 前田 茂伸

  Ulsi開発センター

• 前川 繁登

  (株)ルネサステクノロジ

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