HDTVカメラ用1インチ150万画素IT-CCD撮像素子(論文<小特集>固体撮像技術)
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概要
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ハイビジョンカメラ用固体撮像素子として, 単板で800TV本, 3板で1000TV本の水平解像度を可能にし, かつ高感度, 高電荷転送能力を実現するために, 我々は1インチ150画素IT-CCDを選択した.高感度化に対しては, Deep-UVレジストを用いたオンチップマイクロレンズを実用化し, IT-CCDの弱点であるスミアを低減するために次に2つのアプローチを行った.1つはデバイスシミュレータを用いてCCDの非定常な状態を解析し, 電荷拡散成分抑圧と高転送効率を満足する独自なVCCD部バリアウェル構造(MBW構造)を実現した.2つめは, 入射角を考慮したマイクロレンズの光学シミュレーションを行い, 遮光の最適化をすることによって, 斜め入射光成分等の抑圧をした.この結果, スミア-110dB, 感度80nA/lx等HDTVカメラ用としての諸性能を満足し, 実用レベルにあることを確認した.
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1993-02-20
著者
-
山脇 正雄
三菱電機株式会社 LSI研究所
-
山脇 正雄
三菱電機株式会社ulsi開発研究所
-
川島 光
三菱電機株式会社ULSI開発研究所
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榊原 清彦
三菱電機株式会社LSI研究所
-
山本 秀和
三菱電機株式会社LSI研究所
-
西岡 康隆
三菱電機株式会社LSI研究所
-
前川 繁登
三菱電機株式会社LSI研究所
-
奥村 友秀
三菱電機株式会社電子商品開発研究所
-
前川 繁登
ルネサス
-
山本 秀和
三菱電機 Ulsi開研
-
奥村 友秀
三菱電機株式会社情報技術総合研究所マルチメディアネットワーク技術部
-
榊原 清彦
三菱電機
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