増幅形固体撮像素子AMIの固定パターン雑音
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概要
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増幅形固体撮像素子の一つであるAMI(Amplified MOS Imager)は,ランダム雑音はCCDに近い値をもっているが,固定パターン雑音(FPN)が問題とされている.この度ハイビジョン用素子を目指してセルサイズの縮小化を行い,1/4インチ25万画素のAMIを試作した.セルサイズ縮小に伴って,どのエレメントがどの程度FPNに影響を与えるかを実際にテストデバイスを試作して調査した.その結果,FPNは増幅用トランジスタと,リセット用トランジスタのゲート長に同程度の大きな影響を受け,そのゲート長のばらつきの大きさに比例している.現状素子のゲート長のばらつきは,テストデバイスの測定結果より,約21nm(rms)であることがわかった.他の構成要素の変化に対してはほとんど影響を受けず,無視できる程度であった.また増幅用トランジスタのしきい値電圧と増幅率のばらつきがFPNに与える影響度の比率は4:1以上で,前者がその大部分を占め,光入射時のFPNは,開口率の変化に大きく依存していることなどが明らかになった.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-07-25
著者
-
田中 克
NHK放送技術研究所
-
山脇 正雄
三菱電機株式会社 LSI研究所
-
山脇 正雄
三菱電機株式会社ulsi開発研究所
-
川島 光
三菱電機株式会社ULSI開発研究所
-
安藤 文彦
NHK放送技術研究所イメージデバイス研究部
-
安藤 文彦
Nhk放送技術研究所
-
安藤 文彦
Nhk放送技研
-
安藤 文彦
Nhk放送技術研究所 立体映像音響
-
安藤 文彦
Nhk技研
-
田中 克
Nhk放送技術研究所イメージデバイス研究部
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