多変量解析を用いたWorst Case MOSFET Model Parameter決定手法の開発
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概要
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半導体プロセスにおいて工程の条件が変動することに伴い、そのプロセスを利用した回路の性能は確率的に変動する。本論文は、回路性能の変動を回路シミュレーションモデルのパラメータで表現するための新しい手法を提案する。基本的な回路性能の変動は重回帰分析を行うことにより少数のモデルパラメータで表現できる。この手法は、基本的な回路の性能から直接モデルパラメータの値を一意に決定するため、パラメータ作成に要する労力を削減できる。この手法で作成したモデルパラメータにより設計者は回路性能の変動を容易にかつ正確に評価することができる。この手法をインバータチェーンなどの基本的な回路で検証した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-11-14
著者
-
石田 芳也
北見赤十字病院耳鼻咽喉科・頭頸部外科
-
林 達哉
旭川医科大学耳鼻咽喉科・頭頸部外科学講座
-
山脇 正雄
三菱電機株式会社 LSI研究所
-
山脇 正雄
三菱電機株式会社ulsi開発研究所
-
安田 健志
三菱電機株式会社ULSI開発研究所
-
川島 光
三菱電機株式会社ULSI開発研究所
-
掘 聡
三菱電機株式会社生産技術センター
-
丸山 裕子
三菱電機エンジニアリング株式会社LSI設計センター
-
谷沢 元昭
三菱電機株式会社ULSI開発研究所
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