バンプ接合型HARP固体撮像素子

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概要

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• 光電変換及び電荷増倍部として働くHARP膜と、走査機能を有するMOS型素子とを多数の微細な金属柱で接合した(マイクロパンプ方式)HARP固体撮像素子を試作し、特性評価を行った。

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 1995-09-05

著者

• 丸山 裕孝

  NHK 放送技術研究所

• 谷岡 健吉

  NHK 放送技術研究所

• 山崎 順一

  NHK放送技術局

• 河村 達郎

  株式会社日立製作所電子デバイス事業部

• 安藤 文彦

  NHK放送技術研究所イメージデバイス研究部

• 安藤 文彦

  Nhk放送技術研究所

• 安藤 文彦

  Nhk放送技術研究所 立体映像音響

• 安藤 文彦

  Nhk技研

• 荒木 秀一

  オリンパス

• 小杉 美津男

  NHK放送技術研究所

• 山崎 順一

  Nhk 放送技術研究所

• 辻 和隆

  (株)日立製作所 日立研究所

• 辻 和隆

  日立

• 河村 達郎

  (株)日立製作所

• 河村 達郎

  日立

• 安藤 文彦

  NHK 放送技術研究所

• 小杉 美津男

  NHK 放送技術研究所

• 安藤 文彦

  Nhk 技研

• 山崎 順一

  Nhk 放送技研

• 丸山 裕孝

  Nhk放送センター

• 丸山 祐孝

  Nhk 放送技術研究所

• 丸山 裕孝

  Nhk 放送技研

• 丸山 裕孝

  NHK 放送センター

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