シランガスと各種シリコン表面の相互作用
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概要
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シリコン表面上のシランの分解メカニズムは明らかにされていない。以前、我々は異なった希釈ガス,希釈率,シリコン表面に対してシランガスの熱分解特性の評価を行った。その結果、同じガスでも分解開始温度,分解率ならびに分解挙動,活性化エネルギーは著しく異なることが分かった。一方、固体表面のエネルギー準位,気体のイオン化エネルギーや電子親和力などの物性値は周知の数値である。本報告では、これら周知の数値と実験結果から、各種表面におけるシランガスの分解メカニズムを説明する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-07-27
著者
-
大見 忠弘
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
大見 忠弘
東北大学工学部
-
白井 泰雪
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
中村 雅一
大阪酸素工業株式会社 研究開発部 開発センター
-
白井 泰雪
東北大未来科学技術共同研究センター
-
楢崎 勝貴
東北大学
-
白井 泰雪
東北大学工学部
-
小嶋 努
東北大学工学部電子工学科
-
楢崎 勝貴
東北大学工学部電子工学科
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