羽根 一博 | 東北大学大学院

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概要

• 同名の論文著者
• 東北大学大学院の論文著者

関連著者

• 羽根 一博

  東北大学大学院

• 佐々木 実

  Dept. Of Advanced Science And Technology Toyota Technological Institute

• 羽根 一博

  東北大学

• Sasaki M

  Department Of Physics. Faculty Of Sciences Yamagata University

• Hane Kazuhiro

  Department Of Mechatronics & Precision Engineering Tohoku University

• Sasaki Masahiro

  Institute Of Applied Physics University Of Tsukuba

• 金森 義明

  東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻

• 金森 義明

  東北大・工

• 佐々木 実

  東北大学

• Hane Kazuhiro

  Faculty Of Engineering Tohoku University

• 羽根 一博

  東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻

• 金森 義明

  東北大学

• 佐々木 実

  東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻

• 羽根 一博

  東北大学工学部機械電子工学科

• Sasaki Minoru

  Department of Acoustic Design,Kyushu Institute of Design

• SASAKI Minoru

  Tohoku University

• Hane Kazuhiro

  Department Of Mechatronics And Precision Engineering Tohoku University

• 佐々木 実

  豊田工業大学

• HANE Kazuhiro

  Tohoku University

• 稲葉 成基

  岐阜工業高等専門学校

• 梨木 政行

  (株)デンソー 開発部

• 梨木 政行

  オークマ(株)研究開発部

• 植田 明照

  愛知工大

• 松井 圭司

  オークマ(株)

• 家城 淳

  オークマ(株)

• 稲葉 成基

  岐阜工業高等専門学校電気工学科

• 熊崎 裕教

  岐阜工業高等専門学校電気工学科

• 石杜 昌弘

  東北大学

• 横山 将史

  オークマ(株)

• 鳥井 昭宏

  愛知工業大学 工学部 電気学科

• 植田 明照

  愛知工業大学 工学部 電気学科

• ISHIMORI Masahiro

  Tohoku University

• 佐藤 正明

  東北大学大学院工学研究科

• 小柳 光正

  東北大学大学院工学研究科機械知能工学専攻知能システム設計学研究室

• 山本 勉

  愛知工業大学大学院工学研究科電気電子工学

• 李 以貴

  東北大学

• KANAMORI Yoshiaki

  Department of Mechatronics and Precision Engineering, Tohoku University

• Li Yigui

  Tohoku University

• Li Y

  Kokusai Electric Co. Ltd. Sendai Jpn

• SONG JongHyeong

  Tohoku University

• 陳俊中 エドウィン

  東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻

• 坊野 史典

  東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻

• 長山 和亮

  名古屋工業大学大学院工学研究科

• 松本 健郎

  名古屋工業大学大学院工学研究科

• 松本 健郎

  名古屋工業大学

• 佐々木 敬

  東北大学

• 伊藤 亮輔

  東北大学

• 胡 芳仁

  東北大学

• Kumagai S

  Tohoku Univ. Sendai Jpn

• HIRANO Takayuki

  Tohoku University

• 伊藤 善規

  (株)ハーモニック・ドライブ・システムズ

• 伊藤 善規

  Harmonic Drive Systems

• 佐々木 実

  Tohoku University

• 羽根 一博

  Tohoku University

• 山田 佳寿

  岐阜工業高等専門学校電気工学科

• KAMADA Wataru

  Department of Mechatronics and Precision Engineering, Tohoku University

• 小野 崇人

  東北大学

• Ono Takahito

  Department of Mechanical System and Design, Graduate School of Engineering, Tohoku University

• 青柳 誠司

  関西大学工学部

• 高村 禅

  北陸先端科学技術大学院大学マテリアルサイエンス研究科

• 新宮原 正三

  関西大学大学院工学研究科

• 芝 和宏

  NECナノエレクトロニクス研究所

• 牧田 紀久夫

  NECナノエレクトロニクス研究所

• 小田 俊理

  東工大量子ナノエレ研セ

• 平本 俊郎

  東京大学生産技術研究所

• 高村 禅

  北陸先端大院・マテリアルサイエンス

• 高村 禅

  北陸先端科学技術大学院大学

• 浦岡 行治

  奈良先端大

• 佐藤 博啓

  東北大学大学院工学研究科

• 川上 徹

  東北大学大学院工学研究科

• 片桐 麦

  東北大学大学院工学研究科

• 一木 隆範

  東大院・工・バイオエンジニアリング

• 平本 俊郎

  東大

• 平本 俊郎

  東京大学生産技術研究所:mirai-selete

• 湯上 浩雄

  東北大学大学院工学研究科

• 小田 俊理

  東工大工

• 小田 俊理

  東工大量子ナノ研:sorst-jst

• 小田 俊理

  東京工業大学量子ナノエレクトロニクス研究センター

• ODA Shunri

  Research Center for Quantum Effect Electronics, Tokyo Institute of Technology

• 高橋 庸夫

  北海道大学大学院情報科学研究科

• 松井 真二

  兵庫県立大高度研

• 平野 貴之

  東北大

• 森 伸也

  阪大院工

• 森 伸也

  阪大工

• 辰巳 哲也

  ソニー(株)半導体事業本部セミコンダクターテクノロジー開発部門

• 辰巳 哲也

  技術研究組合 超先端電子技術開発機構 プラズマ技術研究室

• 鳥海 明

  東大

• 金田 千穂子

  富士通研

• 小田中 紳二

  阪大

• 宮崎 誠一

  広大院先端研

• 芝 和宏

  NEC 関西エレクトロニクス研究所

• Arai Yuji

  Department of Bioscience, National Cardiovascular Center Research Institute

• 櫻井 克彦

  東北大学第一内科

• 櫻井 克彦

  東北大学

• 稲葉 成基

  岐阜高専

• 金田 千穂子

  富士通研究所

• 灰田 周平

  東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻

• 南 和幸

  山口大

• KURINO Hiroyuki

  Department of Machine Intelligence and Systems Engineering, Tohoku University

• KOYANAGI Mitsumasa

  Department of Machine Intelligence and Systems Engineering, Tohoku University

• 石田 誠

  豊橋技科大

• 井谷 俊郎

  Selete

• 上野 和良

  芝浦工大

• 坂本 邦博

  産総研

• 芝原 健太郎

  広大

• 須田 良幸

  農工大

• 高橋 庸夫

  北大

• 久本 大

  日立

• 廣瀬 和之

  宇宙研

• 水野 文二

  UJTラボ

• 須田 良幸

  農工大・工

• 一木 隆範

  東洋大学・工

• 新宮原 正三

  関西大

• 井谷 俊郎

  日本電気ULSIデバイス開発研究所

• 鳥海 明

  東大・物工

• 鳥海 明

  東大院工

• 青柳 誠司

  関西大学システム理工学部機械工学科

• 青柳 誠司

  関西大学

• 辰巳 哲也

  ソニー

• 高村 禅

  北陸先端大

• 森 伸也

  阪大

• 小野 崇人

  東北大学大学院工学研究科

• 小田 俊理

  東工大

• 芝 和宏

  日本電気(株)関西エレクトロニクス研究所

• 鮫島 英久

  東北大学

• 涌井 雅史

  東北大学

• 趙 洋

  東北大学

• 高橋 庸夫

  東北大・工

• 高橋 庸夫

  北海道大学 大学院情報科学研究科

• 田村 雄一郎

  東北大学

• 梨木 政行

  オークマ株式会社

• 平田 徹

  住友重機械工業(株)平塚研究所

• 南 和幸

  山口大学大学院医学系研究科応用医工学系専攻

• Minami K

  Mechanical Engineering Faculty Of Engineering Yainaguchi University

• 南 和幸

  山口大院

• 大河内 昌章

  東北大学工学部

• 内田 龍男

  東北大学大学院

• TANAKA Kotaro

  Department of Mechanical Science and Engineering, Graduate School of Engineering, Kyoto University

• Park Ki-tae

  Halo Lsi Inc.:tohoku University

• Matsui Keiji

  Okuma Co. Ltd.

• 井谷 俊郎

  Nec

• Hiramoto Toshirou

  Device Development Center Hitachi Ltd.

• Hiramoto Toshiro

  The Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo:vlsi Design And Education Center The Uni

• Hiramoto Toshiro

  Institute Of Industrial Science University Of Tokyo

• Hiramoto Toshiro

  Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo

• Hiramoto T

  Univ. Tokyo

• Hiramoto Toshiro

  Vlsi Design And Education Center University Of Tokyo

• 宮崎 誠一

  広大

• 片岡 則之

  東北大学大学院工学研究科

• 松井 真二

  兵庫県立大

• 井上 文彬

  岐阜工業高等専門学校専攻科電子システム工学専攻

• 高橋 庸夫

  日本確信電話(株)ntt物性科学基礎研究所

• 田中 康太郎

  東北大学工学部

• Oda S

  Tokyo Inst. Technology Tokyo Jpn

• Oda S

  Tokyo Inst. Technol. Tokyo Jpn

• Oda Shunri

  Quantum Nanoelectronics Research Center Tokyo Institute Of Technology

• Oda Shunri

  Research Center For Quantum Effect Electronics And Department Of Physical Electronics Tokyo Institut

• Oda Shunri

  The Graduate School At Nagatsuta Tokyo Institute Of Technology

• Hong Youn-gi

  Department Of Bioengineering And Robotics Tohoku University

• ミィ シャオユウ

  東北大

• 青柳 誠司

  金沢大学工学部

• 三玉 一郎

  住友重機械工業(株)

• 牧田 紀久夫

  日本電気(株)光・超高周波デバイス研究所

• 三浦 宏介

  東北大

• OHASHI Toshiro

  Tohoku University

• IEKI Atsushi

  Okuma Co. Ltd.

• NASHIKI Masayuki

  Okuma Co. Ltd.

• 熊崎 裕教

  岐阜高専

• 遠藤 哲生

  Tohoku University

• 見田村 宗雄

  (株)ハーモニック・ドライブ・システムズ

• 那須 祐治

  関西電力株式会社 大阪北電力所 野江電力システムセンター

• 中島 健作

  岐阜工業高等専門学校専攻科電子システム工学専攻

• 山田 佳寿

  岐阜高専

• Arai Y

  Institute Of Applied Biochemistry University Of Tsukuba

• Arai Yuji

  Department Of Mechatronics And Precision Engineering Tohoku University

• MIURA Kousuke

  Department of Mechatronics and Precision Engineering, Tohoku University

• MINAMI Kazuyuki

  Mechanical Engineering, Faculty of Engineering, Yainaguchi University

• 一木 隆範

  東大

• 一木 隆範

  東京大学大学院工学系研究科バイオエンジニアリング専攻

• KUMAZAKI Hironori

  Department of Electrical Engineering Technological University of Nagaoka

• 菱沼 知佳

  東北大学工学部

• 高橋 一法

  東北大学

• 齋 均

  豊田工大

• YAHAGI Hiroto

  Department of Mechatronics and Precision Engineering, Tohoku University

• ONO Takahiro

  Department of Mechatronics and Precision Engineering, Tohoku University

• KURINO Hiroyuki

  Tohoku University

• 高橋 庸夫

  北海道大学情報科学研究科

• Yamada Yoshihisa

  Department Of Cardiology Gifu University Graduate School Of Medicine

• Tanaka Kotaro

  Department Of Mechatronics And Precision Engineering Tohoku University

• 阿部 昌博

  住友重機械工業(株)技術開発センター

• 小野 崇人

  東北大

• Ono Takahito

  Department Of Mechanical System And Design Graduate School Of Engineering Tohoku University

• 吉田 佳一

  マイクロ化学プロセス技術研究組合:島津製作所

• 吉田 充伸

  東北大学大学院工学研究科

• Hiramoto Toshiro

  The Authors Are With Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo:the Author Is With Vlsi

• 小田 俊理

  東京工業大学総合理工学研究科

• NAKAMURA Natsuo

  Department of Machine Intelligence and Systems Engineering, Tohoku University

• PARK Ki-Tae

  Department of Machine Intelligence and Systems Engineering, Tohoku University

• Nakamura Natsuo

  Department Of Machine Intelligence And Systems Engineering Tohoku University

• Arai Y

  Ntt Telecommunications Energy Lab. Tokyo Jpn

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著作論文

• 配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ : (2)露光(講座「ちょっとMEMS」第9回)
• 配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ : (1)成膜(講座「ちょっとMEMS」第8回)
• アセンブリを支援するMEMS構造(講座「ちょっとMEMS」第7回)
• MEMSデバイス製作とアセンブリをマッチングする試み(講座「ちょっとMEMS」第6回)
• 高密度プラズマの光マイクロマシンへの応用(高密度プラズマとその応用技術の最前線)
• Tunable Vertical Comb for Driving Micromirror Realized by Bending Device Wafer(Micro/Nano Photonic Devices,Microoptomechatronics)
• Micromirror with Two Parallel Rotation Axes for External Cavity Diode Laser(Micro/Nano Photonic Devices,Microoptomechatronics)
• 光通信デバイスのためのMEMS (特集 光ネットワーク時代の光技術)
• MEMS構造を利用した光集積型センサ
• 位相シフトマスクを利用した立体サンプルの露光法
• 位相シフトマスクを利用した立体サンプルへの微細パターン露光法
• 分割した櫛歯電極型静電駆動アクチュエータ
• リットマン型外部共振器波長可変レーザ用ミラーデバイスの開発
• (2)細胞の力学特性計測のためのレーザ顕微鏡組込み型原子間力顕微鏡(AFM)システムの開発(論文,日本機械学会賞〔2004年度(平成16年度)審査経過報告〕)
• 近赤外光用サブ波長反射防止構造の光学設計および自己組織化ナノ微粒子を用いた製作
• 集光用可変ミラーの変形に及ぼす支持フレームの影響
• シリコン技術
• シリコン基板上の酸化ハフニウム膜の窒化によるバッファ層の形成とGaN結晶の成長
• 光MEMSのためのSi基板上GaN量子井戸結晶のMBE成長
• SOIウエハから製作されたミラーの形状測定と応力解析
• 偏重型フォトダイオードアレイを用いた絶対位置検出光エンコーダ
• 1126 変調型のフォトダイオードアレイを用いた絶対位置計測用光エンコーダ
• 変調周期の回折格子を用いた光学式エンコーダ(第3報) : 高次ひずみ信号成分の除去
• 一回転整合円筒面回転リソグラフィ装置の開発
• 変調型フォトダイオードを用いた光学式エンコーダ
• ナノインプリント法による光ファイバ端面への反射防止サブ波長構造の製作
• エンコーダの光学と集積化
• サブ波長周期格子を用いたチューナブルデバイス
• 光MEMSの記録システムへの応用(「MEMSテクノロジー-最新動向と今後の展望-」)
• サブ波長格子 : バイオミメティック構造からフォトニックデバイスへ
• C-3-113 MEMSを用いたサージ光抑制器の開発(C-3. 光エレクトロニクス, エレクトロニクス1)
• 薄膜光検出器を用いた集積型粗微動変位センサ
• 電磁アクチュエータを用いた波長可変ファイバグレーティングフィルタの開発
• ストロボ位相シフト干渉法を用いた超音波モータの振動計測
• PSI法を用いた超音波モータの計測
• ストロボ位相シフト干渉法を用いた超音波モータの計測
• Optical Encoder Having Pitch-Modulated Photodiode Array
• 投影型エンコーダの集積化に関する研究
• MEMSを応用した投影型エンコーダの開発
• ファイバ型光制御デバイスのための三次元的微細加工
• 光ファイバの微細加工とその応用
• 光ファイバの微細加工とファイバ型デバイスへの応用
• 反応性イオンエッチングによる光ファイバの微細加工
• 光トラップ法と光造形法を用いたマイクロ構造物の製作
• Improved Automatic Alignment of Pinhole Integrated with Photodiode
• Tunable Fiber Bragg Grating Combined with Microactuator
• 光通信用シリコン導波路MEMS (特集 光で/を動かす技術)
• 精密プレス成形による導光板端面への回折格子の製作
• 光通信用ナノマシン (特集 光マイクロ・ナノマシン)
• ナノフォトニクスデバイス制御用薄型櫛歯静電アクチュエータの製作
• シリコンマイクロマシニングと集積化技術
• 光MEMS用マイクロアクチュエータ(情報機器と光関連技術,W17 情報・知能・精密機器部門)
• 光マイクロマシンと集積化
• MEMS技術による光学システムの集積化--集積化を目指したMEMSと光学システムの組み合わせについて
• 光 MEMSのための表面微細加工と集積化技術
• Fabrication of High-Accuracy Microtranslation Table for Near-Field Optical Data Storage Actuated by Inverted Scratch-Drive Actuators
• 1125 薄膜フォトダイオードを用いた小型精密距離センサ
• マイクロ干渉計用薄膜光センサの光検出特性
• Cantilever Probe Integrated with Light-Emitting Diode, Waveguide, Aperture, and photodiode for Scanning Near-Field Optical Microscope
• Fabrication of Hollow Cylinder Shape Permalloy on the Si Pole
• 523 櫛歯電極型静電アクチュエータを用いた大変位XYステージ(ロボティクス,2.学術講演)
• 1515 周期的表面微細構造による高融点金属からの熱放射スペクトル制御
• Fabrication of grating couplers using submicron silicon mold
• Anisotropically Etched Si Mold for Solid Polymer Dye Microcavity Laser
• Siによる周期可変回折格子
• シリコン異方性エッチングを用いた微小共振器の研究
• 141 モールドプロセスを用いた高分子導波路と微細周期構造の製作
• 鋳型のプロセスによるブラッググレーティングの開発
• CI-1-5 MEMSデバイスを用いた光路切り替えスイッチ(CI-1.ナノフォトニクス技術のアクションアイテムズ,依頼シンポジウム,シンポジウムセッション)
• レジストスプレーコーティングの特性と反応
• 428 ドライエッチングした結晶Si壁面の平坦化と光応用(光メカトロニクスI)(OS.6 ナノ構造創成をめざす光メカトロニクスの展開)
• GaN発光素子とSi-MEMSの融合を目指して (特集 進展するMEMS技術--様々なアプリケーションに向けて)
• 曲げモーメント駆動による焦点可変放物面ミラーの設計と製作
• ナノテク最前線 光MEMSの新展開:サブ波長光学のためのMEMS
• W2 光MEMS開発の現状と材料力学的評価技術の必要性(技術ワークショップ『MEMS開発の最新動向と材料力学への期待』)
• Basic Studies of Fiber-Optic MEMS for Telecommunication Using Three Dimensional Micromachining(Special Issue on Integrated Systems with New Concepts)
• LED光源を一体化した近視野顕微鏡用導波路カンチレバー
• MEMS可動型シリコン細線カプラー導波路スイッチ (特集 光MEMS技術の新展開)
• ナノテク最前線 高機能マイクロミラーデバイス--小型かつ付加価値の高いミラーデバイスへの試み
• ナノテク最前線 光学系一体型の近接場光プローブ
• 研究室紹介 東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻メカノプティクス分野--光集積とメカノプティクス
• 細いフレームを持つ焦点可変ミラーの SOI ウエハ残留応力による変形
• 光 MEMS の情報デバイスへの展開
• 光でつくるマイクロ・ナノ機械:光リソグラフィによる立体加工 (特集 光ナノ加工)
• WS-06 NANO/MICRO-TECHNOLOGIES FOR HIGH DENSITY DATA-STORAGE AND OPTICAL APPLICATIONS
• Subwavelength Antirefiection Gratings for Light Emitting Diodes and Photodiodes Fabricated by Fast Atom Beam Etching
• サブ波長周期の反射防止構造を有する発光ダイオードの光学特性
• ハイアスペクト比の超微細格子の製作と光部品への応用
• ストロボ位相シフト干渉法を用いた過渡振動分布計測
• ストロボ位相シフト干渉法を用いたUSMの過渡振動計測
• Two-Dimensional Control of Shape-Memory-Alloy Actuators for Aligning a Si Micromachined Pinhole of Spatial Filter
• 計算機合成フレネルホログラムによる三次元露光
• 引張応力のあるトーションバーを用いた静電駆動型ミラーデバイス
• 細胞の力学特性計測のためのレーザ顕微鏡組込み型原子間力顕微鏡(AFM)システムの開発(機械力学,計測,自動制御)
• SC-10-3 マイクロマシニングによる集積型光学システムの制作
• Si基板折り曲げにより実現する立体的マイクロ光学ベンチ
• Interferometers based on standing wave detection using thin film photodiodes
• ノーベル化学賞の背景と工学技術(精密工学の最前線株式会社島津製作所)
• 集積化に適した干渉型変位センサ
• Ultra-thin epitaxial Si photodiode for use in interferometers detecting standing wave
• 立体的マイクロマシニングのためのレジストスプレーコーティング
• 光ファイバの直接リソグラフィと光メカトロニクスへの応用
• Micromachining of Optical Fiber Using Reactive Ion Etching and Its Application
• Full-fiber-type sensing system for physical quantities using a photothermally vibrate quartz-core cantilever (特集 振動型センサ・アクチュエータ)
• 光ファイバー先端に形成したマイクロレンズ (特集 マイクロレンズの最新動向)
• 東北大メカノプティクス研究室東北大学大学院工学研究科機械電子工学専攻羽根研究室
• 宇宙の神秘に挑む「すばる」望遠鏡 国際天文台ハワイ観測所を訪ねて
• マイクロマシニングによる光通信用部品の開発 (特集 最近のMEMS技術)
• Dominance of Cl^+_2 or Cl^+ Ions in Time-Modulated Inductively Coupled Cl_2 Plasma Investigated with Laser-Induced Fluorescence Technique and Probe Measurements
• ファイバ側面の微細加工による光部品の製作
• Detection of Metastable Chlorine Ions in Time-Modulated Plasma by Time Resolved Laser-Induced Fluorescence
• Broadband Antireflection Gratings for Glass Substrates Fabricated by Fast Atom Beam Etching
• 透過型フォトダイオードの開発と光計測
• 透過型フォトダイオードによる変位計測
• レジスト噴霧法による3次元リソグラフィの開発と光ファイバ端面加工への応用
• レジスト噴霧法による光ファイバ端面のリソグラフィ加工
• マイクロマシニングによるメカトロニクス用フォトダイオードの開発
• Siマイクロマシニングによるメカトロニクス用光センサの開発
• 円柱面転動リソグラフィ装置の開発
• AFMによって計測した培養内皮細胞の形態的および力学的特性
• 光計測技術の展望 : センサーネットワーク
• 19.11.マイクロメカトロニクス(19.情報・精密機械)(機械工学年鑑)
• 近接場科学のエンジニアリングへの展開を期待して(近接場科学の工学応用をめざして)
• 光クロスコネクト用マイクロミラー
• ミラースキャナ
• 19.12.マイクロメカトロニクス(19.情報・精密機械)(機械工学年鑑)
• 光通信用MEMSの進展(第2部 : ITを支える機械工学)
• 光MEMSの目ざす技術革新 (特集 ブロードバンド時代のキーテクノロジー 光ファイバ技術探検隊) -- (光部品・光モジュール)
• 19.12 マイクロメカトロニクス(19.情報・精密機械)
• 解説 マイクロ・ナノ領域の光メカトロニクスの進展
• 光通信マイクロマシン 光スイッチ,可変フィルタなどを中心に
• 光応用計測
• SPIE 1999 Symposium on Micromachining and Microfabrication国際会議報告
• 18.5メカノプティクス(18.ロボティクス・メカトロニクス)
• 細いフレームを持つ焦点可変ミラーのSOIウエハ残留応力による変形
• 1-1 導波モード共鳴格子フィルタを用いた画像分光(第1部門 センシング&コンシューマエレクトロニクス&ストレージ)
• 超小型アクチュエータを用いた光導波路カプラスイッチ(トピックス)

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