W2 光MEMS開発の現状と材料力学的評価技術の必要性(技術ワークショップ『MEMS開発の最新動向と材料力学への期待』)
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概要
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- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2006-08-03
著者
-
羽根 一博
東北大学
-
Hane Kazuhiro
Department Of Mechatronics & Precision Engineering Tohoku University
-
Hane Kazuhiro
Faculty Of Engineering Tohoku University
-
羽根 一博
東北大学大学院
-
羽根 一博
東北大学大学院工学研究科
-
羽根 一博
東北大
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