SOIウエハから製作されたミラーの形状測定と応力解析
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2009-07-23
著者
-
羽根 一博
東北大学
-
佐々木 敬
東北大学
-
Hane Kazuhiro
Department Of Mechatronics & Precision Engineering Tohoku University
-
Hane Kazuhiro
Faculty Of Engineering Tohoku University
-
羽根 一博
東北大学大学院
-
羽根 一博
東北大学大学院工学研究科
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