PSI法を用いた超音波モータの計測
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2000-09-01
著者
-
鳥井 昭宏
愛知工業大学 工学部 電気学科
-
植田 明照
愛知工業大学 工学部 電気学科
-
羽根 一博
東北大学
-
山本 勉
愛知工業大学大学院工学研究科電気電子工学
-
植田 明照
愛知工大
-
羽根 一博
東北大学大学院
-
鳥井 昭宏
愛知工業大学
-
植田 明照
愛知工業大学
関連論文
- 自走可能な小形スチュワートプラットフォーム機構
- 風力発電装置の系統連系におけるACリンクとDCリンクの一考察
- 配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ : (2)露光(講座「ちょっとMEMS」第9回)
- Compact Triangulation Sensor Realized by Bending Si Wafer with Optical Elements at Metal Hinges
- 配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ : (1)成膜(講座「ちょっとMEMS」第8回)
- アセンブリを支援するMEMS構造(講座「ちょっとMEMS」第7回)
- MEMSデバイス製作とアセンブリをマッチングする試み(講座「ちょっとMEMS」第6回)
- 高密度プラズマの光マイクロマシンへの応用(高密度プラズマとその応用技術の最前線)
- Tunable Vertical Comb for Driving Micromirror Realized by Bending Device Wafer(Micro/Nano Photonic Devices,Microoptomechatronics)
- Micromirror with Two Parallel Rotation Axes for External Cavity Diode Laser(Micro/Nano Photonic Devices,Microoptomechatronics)
- 光通信デバイスのためのMEMS (特集 光ネットワーク時代の光技術)
- MEMS構造を利用した光集積型センサ
- 位相シフトマスクを利用した立体サンプルの露光法
- 位相シフトマスクを利用した立体サンプルへの微細パターン露光法
- 分割した櫛歯電極型静電駆動アクチュエータ
- リットマン型外部共振器波長可変レーザ用ミラーデバイスの開発
- (2)細胞の力学特性計測のためのレーザ顕微鏡組込み型原子間力顕微鏡(AFM)システムの開発(論文,日本機械学会賞〔2004年度(平成16年度)審査経過報告〕)
- PQ(有効電力・無効電力)の独立制御による自立配電網内の電力品質維持
- 入出力端のLCフィルタを考慮した交流チョッパ回路の特性解析
- 昇降圧形交流チョッパにおける制御特性の検討
- 分散型電源を用いた無停電電力供給システムにおける電力品質
- 光ファイバーコアの光熱振動を利用した密度のフォトニックセンシング
- 近赤外光用サブ波長反射防止構造の光学設計および自己組織化ナノ微粒子を用いた製作
- 鉛直振動による浮上を用いたインチワーム型移動機構 (特集 電気関係学会東海支部連合大会)
- 集光用可変ミラーの変形に及ぼす支持フレームの影響
- シリコン技術
- PQ独立制御による自立配電網内の電力品質維持(第2報)
- 回折モアレ信号を用いた超精密位置決め装置の精度
- pq理論と移動平均ハイパスフィルタを用いたアクティブフィルタの高調波電流検出法
- すり足動作する三足ロボットの制御法
- マイクロマシンの浮揚に関する基礎的研究
- 処理時間の変更が可能な自律移動ロボットの自己位置推定
- 卓上生産システム用小形移動ロボットの位置計測システム
- マイクロロボットのための可動灯台を用いた位置計測の誤差補正
- ミニチュアロボット用マクロ・マイクロ位置計測システム
- ミニチュアロボットの移動計画
- デスクトップファクトリ用ミニチュアロボットの変位計測(プロジェクト研究)
- 自走可能な小形スチュワートプラットフォーム機構
- シリコン基板上の酸化ハフニウム膜の窒化によるバッファ層の形成とGaN結晶の成長
- 光MEMSのためのSi基板上GaN量子井戸結晶のMBE成長
- SOIウエハから製作されたミラーの形状測定と応力解析
- 1126 変調型のフォトダイオードアレイを用いた絶対位置計測用光エンコーダ
- 一回転整合円筒面回転リソグラフィ装置の開発
- 変調型フォトダイオードを用いた光学式エンコーダ
- ナノインプリント法による光ファイバ端面への反射防止サブ波長構造の製作
- 間接的評価値推論を用いた遺伝的アルゴリズムによる自己位置推定用画像テンプレートの高速生成
- 機能性レーザ加工技術の開発と産業応用に関する研究
- サブ波長格子 : バイオミメティック構造からフォトニックデバイスへ
- 自律移動ロボットの実時間行動獲得に適した環境表現方法
- マイクロロボットの3次元位置計測
- C-3-113 MEMSを用いたサージ光抑制器の開発(C-3. 光エレクトロニクス, エレクトロニクス1)
- 薄膜光検出器を用いた集積型粗微動変位センサ
- PSD を搭載したミニチュアロボットの位置姿勢計測
- 電磁アクチュエータを用いた波長可変ファイバグレーティングフィルタの開発
- ストロボ位相シフト干渉法を用いた超音波モータの振動計測
- PSI法を用いた超音波モータの計測
- ストロボ位相シフト干渉法を用いた超音波モータの計測
- フォトサーマル励振されたマイクロカンチレバーを用いたメカニカルセンシング
- 光学式アクチュエータのための光ファイバーコアの光熱振動
- 光熱振動する光ファイバーコアの水中における共振特性
- MEMSを応用した投影型エンコーダの開発
- ファイバ型光制御デバイスのための三次元的微細加工
- 光ファイバの微細加工とファイバ型デバイスへの応用
- メモリ読み出し用ねじれ振動型AFMプローブに関する解析と製作
- モアレ信号を用いた超精密角度位置決め
- 回折モアレ光を用いた超精密位置決め技法とその精度
- 回折モアレ法によるナノメータ精度アライメント
- ストロボ法を用いた超音波モータ表面の縞走査干渉画像計測
- 光通信用シリコン導波路MEMS (特集 光で/を動かす技術)
- 精密プレス成形による導光板端面への回折格子の製作
- 光通信用ナノマシン (特集 光マイクロ・ナノマシン)
- ナノフォトニクスデバイス制御用薄型櫛歯静電アクチュエータの製作
- シリコン光MEMS (特集 新たな地平に向かうシリコンフォトニクス)
- 集積型光エンコーダの開発 : 間隙不感型光学系の設計とセンサの製作
- 522 静電アクチュエータを用いた可変スラブによるフォトニック結晶光スイッチの製作(ロボティクス,2.学術講演)
- 圧電素子の急速変形を利用したマイクロロボットの速度特性(第2報):周波数依存性
- 方形波電圧駆動形マイクロロボットの速度制御
- 圧電素子の変形により動作するマイクロロボット
- 電磁石を用いたマイクロロボットの速度特性
- ディジタル速度制御によるマイクロロボットの高速化
- 状況と行動の因果関係に着目した人間の行動モデル化手法 : —多次元時系列信号で表現された状況と離散事象で表現された行動の場合—
- 523 櫛歯電極型静電アクチュエータを用いた大変位XYステージ(ロボティクス,2.学術講演)
- 金属表面上への回折格子パターンのリソグラフィ転写による光エンコーダの提案
- 単相昇圧形高力率コンバータの出力特性の解析
- 1515 周期的表面微細構造による高融点金属からの熱放射スペクトル制御
- 光と周期的表面構造との共鳴効果を利用したスペクトル選択性熱放射表面の創製
- サブミクロン周期の表面微細構造を有する太陽光選択吸収材料の研究
- Siの高アスペクト比エッチングによる光センサ部品の製作
- Si薄膜上に製作した透過型ポジションセンサ
- 干渉計を用いた AFM エンコーダ
- 原子間力顕微法により得られる位置決め信号
- 新世紀におけるパワーエレクトロニクス教育を考える
- シリコン異方性エッチングを用いた微小共振器の研究
- 141 モールドプロセスを用いた高分子導波路と微細周期構造の製作
- CI-1-5 MEMSデバイスを用いた光路切り替えスイッチ(CI-1.ナノフォトニクス技術のアクションアイテムズ,依頼シンポジウム,シンポジウムセッション)
- レジストスプレーコーティングの特性と反応
- 鉛直振動による浮上を用いたインチワーム型移動機構
- 間接的評価値推論を用いた遺伝的アルゴリズムによる自己位置推定用画像テンプレートの高速生成
- 直列形電圧補償装置におけるデッドタイム電圧による非線形性に関する検討
- 状況と行動の因果関係に着目した人間の行動モデル化手法 : 多次元時系列信号で表現された状況と離散事象で表現された行動の場合