シリコン基板上の酸化ハフニウム膜の窒化によるバッファ層の形成とGaN結晶の成長
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概要
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- 2008-06-12
著者
-
羽根 一博
東北大学
-
伊藤 亮輔
東北大学
-
鮫島 英久
東北大学
-
涌井 雅史
東北大学
-
胡 芳仁
東北大学
-
Hane Kazuhiro
Department Of Mechatronics & Precision Engineering Tohoku University
-
Hane Kazuhiro
Faculty Of Engineering Tohoku University
-
羽根 一博
東北大学大学院
-
羽根 一博
東北大学大学院工学研究科
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