ファイバ型光制御デバイスのための三次元的微細加工
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概要
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The well-controlled, complex three-dimensional fiber structures would be more useful as optical devices and sensors. Optical fiber micro-machining was attempted by combination of plasma etching and photolithography technology. In addition, a Ni plating technology and Ni stencil mask were introduced newly into fiber micro-machining. As the results, optical fibers with periodically stepped diameter or with micro-holes were realized and discussed as wavelength filter or transmitted light monitor.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2005-05-01
著者
-
稲葉 成基
岐阜工業高等専門学校電気工学科
-
熊崎 裕教
岐阜工業高等専門学校電気工学科
-
羽根 一博
東北大学
-
稲葉 成基
岐阜工業高等専門学校
-
Hane Kazuhiro
Department Of Mechatronics & Precision Engineering Tohoku University
-
那須 祐治
関西電力株式会社 大阪北電力所 野江電力システムセンター
-
羽根 一博
東北大学大学院
-
羽根 一博
東北大学大学院工学研究科
-
熊崎 裕教
岐阜工業高等専門学校電気情報工学科
-
稲葉 成基
岐阜工業高等専門学校電気情報工学科
-
熊崎 裕教
岐阜工業高等専門学校
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