分割した櫛歯電極型静電駆動アクチュエータ
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概要
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The comb drive actuator with segmented electrodes is fabricated for realizing the large displacement. The counter torque generated by applying the higher driving voltage at a segmented electrode can suppress the instability, called “side snap-over". The stable travel is confirmed to extend by 4-6μm. The obtained maximum displacement is 50μm.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2006-04-01
著者
-
佐々木 実
Dept. Of Advanced Science And Technology Toyota Technological Institute
-
羽根 一博
東北大学
-
羽根 一博
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
佐々木 実
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
坊野 史典
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
Hane Kazuhiro
Department Of Mechatronics & Precision Engineering Tohoku University
-
Sasaki M
Department Of Physics. Faculty Of Sciences Yamagata University
-
Sasaki Masahiro
Institute Of Applied Physics University Of Tsukuba
-
羽根 一博
東北大学大学院
-
羽根 一博
東北大学大学院工学研究科
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