Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2005-09-13
著者
-
佐々木 実
Dept. Of Advanced Science And Technology Toyota Technological Institute
-
SASAKI Minoru
Tohoku University
-
HANE Kazuhiro
Tohoku University
-
TABATA Motoki
Tohoku University, Dept. of Nanomechanics
-
HAGA Tsukasa
Tohoku University, Dept. of Nanomechanics
-
Tabata Motoki
Tohoku University Dept. Of Nanomechanics
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Haga Tsukasa
Tohoku University Dept. Of Nanomechanics
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Hane Kazuhiro
Tohoku University Dept. Of Nanomechanics
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Hane Kazuhiro
Tohoku Univ. Dept. Of Nanomechanics
-
Sasaki Minoru
Tohoku University Dept. Of Nanomechanics
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Sasaki Minoru
Tohoku Univ. Dept. Of Nanomechanics
-
Hane Kazuhiro
Tohoku Univ.
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