光でつくるマイクロ・ナノ機械:光リソグラフィによる立体加工 (特集 光ナノ加工)
スポンサーリンク
概要
著者
-
佐々木 実
Dept. Of Advanced Science And Technology Toyota Technological Institute
-
金森 義明
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
Hane Kazuhiro
Department Of Mechatronics & Precision Engineering Tohoku University
-
Sasaki M
Department Of Physics. Faculty Of Sciences Yamagata University
-
Sasaki Masahiro
Institute Of Applied Physics University Of Tsukuba
-
金森 義明
東北大・工
-
羽根 一博
東北大学大学院
-
金森 義明
東北大学大学院工学研究科
関連論文
- 配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ : (2)露光(講座「ちょっとMEMS」第9回)
- Compact Triangulation Sensor Realized by Bending Si Wafer with Optical Elements at Metal Hinges
- 配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ : (1)成膜(講座「ちょっとMEMS」第8回)
- アセンブリを支援するMEMS構造(講座「ちょっとMEMS」第7回)
- MEMSデバイス製作とアセンブリをマッチングする試み(講座「ちょっとMEMS」第6回)
- 高密度プラズマの光マイクロマシンへの応用(高密度プラズマとその応用技術の最前線)
- Tunable Vertical Comb for Driving Micromirror Realized by Bending Device Wafer(Micro/Nano Photonic Devices,Microoptomechatronics)
- Micromirror with Two Parallel Rotation Axes for External Cavity Diode Laser(Micro/Nano Photonic Devices,Microoptomechatronics)
- Angled exposure method for pattering on three-dimensional structures (Special issue: Microprocesses & nanotechnology)
- 光通信デバイスのためのMEMS (特集 光ネットワーク時代の光技術)
- MEMS構造を利用した光集積型センサ
- 位相シフトマスクを利用した立体サンプルの露光法
- 位相シフトマスクを利用した立体サンプルへの微細パターン露光法
- 分割した櫛歯電極型静電駆動アクチュエータ
- Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror (Special Issue: Solid State Devices & Materials)
- Micro-Heater Array for Tunable Fiber-Bragg Grating
- Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror
- リットマン型外部共振器波長可変レーザ用ミラーデバイスの開発
- (2)細胞の力学特性計測のためのレーザ顕微鏡組込み型原子間力顕微鏡(AFM)システムの開発(論文,日本機械学会賞〔2004年度(平成16年度)審査経過報告〕)
- Compact Triangulation Sensor Array Constructed by Wafer Bending
- 偏重型フォトダイオードアレイを用いた絶対位置検出光エンコーダ
- 1126 変調型のフォトダイオードアレイを用いた絶対位置計測用光エンコーダ
- 一回転整合円筒面回転リソグラフィ装置の開発
- 変調型フォトダイオードを用いた光学式エンコーダ
- C-3-113 MEMSを用いたサージ光抑制器の開発(C-3. 光エレクトロニクス, エレクトロニクス1)
- 薄膜光検出器を用いた集積型粗微動変位センサ
- 電磁アクチュエータを用いた波長可変ファイバグレーティングフィルタの開発
- 投影型エンコーダの集積化に関する研究
- Dynamic Studies of Transport Properties of γ-Mo_4O_ Crystals Using Photoinduced Transient Thermoelectric Effect under Static Electric Field
- Improved Automatic Alignment of Pinhole Integrated with Photodiode
- Si Micromachined Pinhole and Surrounding Photodiode for Incident Beam Position Sensing and Automatic Alignment
- Automatic Alignment of Optical System Using Shape Memory Alloy
- Tunable Fiber Bragg Grating Combined with Microactuator
- シリコンマイクロマシニングと集積化技術
- 光MEMS用マイクロアクチュエータ(情報機器と光関連技術,W17 情報・知能・精密機器部門)
- 光マイクロマシンと集積化
- MEMS技術による光学システムの集積化--集積化を目指したMEMSと光学システムの組み合わせについて
- 光 MEMSのための表面微細加工と集積化技術
- Fabrication of High-Accuracy Microtranslation Table for Near-Field Optical Data Storage Actuated by Inverted Scratch-Drive Actuators
- 1125 薄膜フォトダイオードを用いた小型精密距離センサ
- マイクロ干渉計用薄膜光センサの光検出特性
- Cantilever Probe Integrated with Light-Emitting Diode, Waveguide, Aperture, and photodiode for Scanning Near-Field Optical Microscope
- Fabrication of Hollow Cylinder Shape Permalloy on the Si Pole
- Local Tunneling Barrier Height Measurement on Au(111)
- Moire-like Distribution of Local Tunneling Barrier Height of the Monolayer Graphite Adsorbed on Pt(111) Surface
- Local Tunneling Barrier Height Studies of the Initial Stage of Cs Adsorption on a Si(111) 7 x 7 Surface
- Scanning funneling Microscopy (STM)/LocaI Tunneling Barrier Height (LBH) Studies on Cs Adsorption on a Pt(111) Surface
- Anisotropies in the Magnetotransport Properties of Quai-Two-Dimensional η-Mo_4O_ Crystals
- 523 櫛歯電極型静電アクチュエータを用いた大変位XYステージ(ロボティクス,2.学術講演)
- Simulation of Sliding Motion of Charge-Density-Wave by Considering Dipole and Screening Effects
- Simulation of Atomic Distribution of Guest Atoms in Layered 1T-TiS_2 Crystal using Monte Calro Method and Its Effect on the Magnetic Properties and Local Structures : Condensed Matter: Structure, etc.
- Charge-Density Wave Instabilities in Orthorhombic γ-Mo_4O_ : II. LOW TEMPERATURE PROPERTIES OF SOLIDS : Charge Density Waves
- 金属表面回折格子を用いた光エンコーダ
- Siの高アスペクト比エッチングによる光センサ部品の製作
- Si薄膜上に製作した透過型ポジションセンサ
- Fabrication of grating couplers using submicron silicon mold
- Anisotropically Etched Si Mold for Solid Polymer Dye Microcavity Laser
- Siによる周期可変回折格子
- シリコン異方性エッチングを用いた微小共振器の研究
- 141 モールドプロセスを用いた高分子導波路と微細周期構造の製作
- 鋳型のプロセスによるブラッググレーティングの開発
- レジストスプレーコーティングの特性と反応
- 428 ドライエッチングした結晶Si壁面の平坦化と光応用(光メカトロニクスI)(OS.6 ナノ構造創成をめざす光メカトロニクスの展開)
- Basic Studies of Fiber-Optic MEMS for Telecommunication Using Three Dimensional Micromachining(Special Issue on Integrated Systems with New Concepts)
- LED光源を一体化した近視野顕微鏡用導波路カンチレバー
- ナノテク最前線 高機能マイクロミラーデバイス--小型かつ付加価値の高いミラーデバイスへの試み
- ナノテク最前線 光学系一体型の近接場光プローブ
- 研究室紹介 東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻メカノプティクス分野--光集積とメカノプティクス
- 光 MEMS の情報デバイスへの展開
- 光でつくるマイクロ・ナノ機械:光リソグラフィによる立体加工 (特集 光ナノ加工)
- WS-06 NANO/MICRO-TECHNOLOGIES FOR HIGH DENSITY DATA-STORAGE AND OPTICAL APPLICATIONS
- Subwavelength Antirefiection Gratings for Light Emitting Diodes and Photodiodes Fabricated by Fast Atom Beam Etching
- サブ波長周期の反射防止構造を有する発光ダイオードの光学特性
- ハイアスペクト比の超微細格子の製作と光部品への応用
- Two-Dimensional Control of Shape-Memory-Alloy Actuators for Aligning a Si Micromachined Pinhole of Spatial Filter
- 計算機合成フレネルホログラムによる三次元露光
- 引張応力のあるトーションバーを用いた静電駆動型ミラーデバイス
- 細胞の力学特性計測のためのレーザ顕微鏡組込み型原子間力顕微鏡(AFM)システムの開発(機械力学,計測,自動制御)
- SC-10-3 マイクロマシニングによる集積型光学システムの制作
- Si基板折り曲げにより実現する立体的マイクロ光学ベンチ
- 集積化に適した干渉型変位センサ
- 立体的マイクロマシニングのためのレジストスプレーコーティング
- 光ファイバの直接リソグラフィと光メカトロニクスへの応用
- 共通光路型光ヘテロダイン干渉計を用いた走査型力顕微鏡
- 光ファイバー先端に形成したマイクロレンズ (特集 マイクロレンズの最新動向)
- 東北大メカノプティクス研究室東北大学大学院工学研究科機械電子工学専攻羽根研究室
- 宇宙の神秘に挑む「すばる」望遠鏡 国際天文台ハワイ観測所を訪ねて
- マイクロマシニングによる光通信用部品の開発 (特集 最近のMEMS技術)
- Dominance of Cl^+_2 or Cl^+ Ions in Time-Modulated Inductively Coupled Cl_2 Plasma Investigated with Laser-Induced Fluorescence Technique and Probe Measurements
- ファイバ側面の微細加工による光部品の製作
- Detection of Metastable Chlorine Ions in Time-Modulated Plasma by Time Resolved Laser-Induced Fluorescence
- 透過型フォトダイオードの開発と光計測
- 透過型フォトダイオードによる変位計測
- レジスト噴霧法による3次元リソグラフィの開発と光ファイバ端面加工への応用
- レジスト噴霧法による光ファイバ端面のリソグラフィ加工
- マイクロマシニングによるメカトロニクス用フォトダイオードの開発
- Siマイクロマシニングによるメカトロニクス用光センサの開発
- 円柱面転動リソグラフィ装置の開発
- AFMによって計測した培養内皮細胞の形態的および力学的特性
- 自立微細回折格子を用いた原子干渉計の設計と製作