Basic Studies of Fiber-Optic MEMS for Telecommunication Using Three Dimensional Micromachining(Special Issue on Integrated Systems with New Concepts)
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概要
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Fiber-optic MEMS which is fabricated by combining direct photo-lithography of optical fiber and silicon micro-machining is proposed. Preliminary results of micro-machining of optical fiber and variable telecommunication devices are presented.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-12-01
著者
-
佐々木 実
Dept. Of Advanced Science And Technology Toyota Technological Institute
-
SONG JongHyeong
Tohoku University
-
羽根 一博
東北大学大学院
-
Miura K
Tohoku Univ. Sendai Jpn
-
Taguchi Yohei
The Department Of Mechatronics And Precision Engineering Tohoku University
-
Sasaki Minoru
Kyushu Institute of Design, Laboratory of Sound Environment Systems
-
HANE Kazuhiro
the Department of Mechatronics and Precision Engineering, Tohoku University
-
SASAKI Minoru
the Department of Mechatronics and Precision Engineering, Tohoku University
-
SONG JongHyeong
the Department of Mechatronics and Precision Engineering, Tohoku University
-
MIURA Kosuke
the Department of Mechatronics and Precision Engineering, Tohoku University
-
Miura Kosuke
The Department Of Mechatronics And Precision Engineering Tohoku University
-
Sasaki M
Kyushu Institute Of Design Laboratory Of Sound Environment Systems
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