Dominance of Cl^+_2 or Cl^+ Ions in Time-Modulated Inductively Coupled Cl_2 Plasma Investigated with Laser-Induced Fluorescence Technique and Probe Measurements
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 2000-12-30
著者
-
佐々木 実
Dept. Of Advanced Science And Technology Toyota Technological Institute
-
小柳 光正
東北大学大学院工学研究科機械知能工学専攻知能システム設計学研究室
-
Kumagai S
Tohoku Univ. Sendai Jpn
-
Sasaki Minoru
Department of Acoustic Design,Kyushu Institute of Design
-
Sasaki M
Department Of Physics. Faculty Of Sciences Yamagata University
-
羽根 一博
東北大学大学院
-
Kumagai Shinya
Department Of Physics School Of Science And Technology Meiji University
-
Koyanagi Mitsumasa
Department Of Bioengineering And Robotics Graduate School Of Engineering Tohoku University
-
Hane Kazuhiro
Department Of Electronic Mechanical Engineering Faculty Of Engineering Nagoya University
-
Sasaki Minoru
Department Of Acoustic Design Kyushu Institute Of Design
-
Kumagai Shinya
Department of Advanced Science and Technology, Toyota Technological Institute, 2-12-1, Hisakata, Tenpaku-ku, Nagoya 468-8511, Japan
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