配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ : (2)露光(講座「ちょっとMEMS」第9回)
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概要
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- 社団法人エレクトロニクス実装学会の論文
- 2008-07-01
著者
-
佐々木 実
Dept. Of Advanced Science And Technology Toyota Technological Institute
-
佐々木 実
豊田工業大学
-
羽根 一博
東北大学
-
Hane Kazuhiro
Department Of Mechatronics & Precision Engineering Tohoku University
-
Hane Kazuhiro
Faculty Of Engineering Tohoku University
-
Sasaki M
Department Of Physics. Faculty Of Sciences Yamagata University
-
Sasaki Masahiro
Institute Of Applied Physics University Of Tsukuba
-
羽根 一博
東北大学大学院
-
羽根 一博
東北大学大学院工学研究科
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