Hane Kazuhiro | Department Of Mechatronics & Precision Engineering Tohoku University

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概要

• 同名の論文著者
• Department Of Mechatronics & Precision Engineering Tohoku Universityの論文著者

関連著者

• Hane Kazuhiro

  Department Of Mechatronics & Precision Engineering Tohoku University

• 羽根 一博

  東北大学大学院

• 羽根 一博

  東北大学大学院工学研究科

• 佐々木 実

  Dept. Of Advanced Science And Technology Toyota Technological Institute

• 羽根 一博

  東北大学

• Sasaki M

  Department Of Physics. Faculty Of Sciences Yamagata University

• Sasaki Masahiro

  Institute Of Applied Physics University Of Tsukuba

• Hane Kazuhiro

  Faculty Of Engineering Tohoku University

• 金森 義明

  東北大学大学院工学研究科

• 金森 義明

  東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻

• 金森 義明

  東北大・工

• 佐々木 実

  東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻

• 羽根 一博

  東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻

• 佐々木 実

  東北大学

• 金森 義明

  東北大学

• 佐々木 実

  豊田工業大学

• Sasaki Minoru

  Department of Acoustic Design,Kyushu Institute of Design

• Hane Kazuhiro

  Department Of Electronic Mechanical Engineering Faculty Of Engineering Nagoya University

• Sasaki Minoru

  Department Of Acoustic Design Kyushu Institute Of Design

• 羽根 一博

  東北大

• ISHIMORI Masahiro

  Tohoku University

• KANAMORI Yoshiaki

  Department of Mechatronics and Precision Engineering, Tohoku University

• Kanamori Yoshiaki

  Department Of Machatronics And Precision Engineering Tohoku University

• 稲葉 成基

  岐阜工業高等専門学校電気工学科

• 熊崎 裕教

  岐阜工業高等専門学校電気工学科

• SASAKI Minoru

  Tohoku University

• HANE Kazuhiro

  Tohoku University

• 陳俊中 エドウィン

  東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻

• 坊野 史典

  東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻

• 石杜 昌弘

  東北大学

• 長山 和亮

  名古屋工業大学大学院工学研究科

• 松本 健郎

  名古屋工業大学大学院工学研究科

• 佐藤 正明

  東北大学大学院工学研究科

• 松本 健郎

  名古屋工業大学

• 稲葉 成基

  岐阜工業高等専門学校

• 佐々木 敬

  東北大学

• 羽根 一博

  東北大学工学部機械電子工学科

• 伊藤 亮輔

  東北大学

• 胡 芳仁

  東北大学

• Hane Kazuhiro

  Department Of Mechatronics And Precision Engineering Tohoku University

• Hane Kazuhiro

  Tohoku Univ. Jpn

• 熊崎 裕教

  岐阜工業高等専門学校電気情報工学科

• Hane Kazuhiro

  Tohoku Univ. Dept. Of Nanomechanics

• 佐々木 敬

  東北大学大学院工学研究科

• Sasaki Minoru

  Tohoku Univ. Dept. Of Nanomechanics

• 長山 和亮

  名古屋工業大学

• Hane Kazuhiro

  Tohoku Univ.

• 稲葉 成基

  岐阜工業高等専門学校電気情報工学科

• 熊崎 裕教

  岐阜工業高等専門学校

• 小野 崇人

  東北大学

• Ono Takahito

  Department of Mechanical System and Design, Graduate School of Engineering, Tohoku University

• 青柳 誠司

  関西大学工学部

• 高村 禅

  北陸先端科学技術大学院大学マテリアルサイエンス研究科

• 新宮原 正三

  関西大学大学院工学研究科

• 芝 和宏

  NECナノエレクトロニクス研究所

• 牧田 紀久夫

  NECナノエレクトロニクス研究所

• 小田 俊理

  東工大量子ナノエレ研セ

• 平本 俊郎

  東京大学生産技術研究所

• 高村 禅

  北陸先端大院・マテリアルサイエンス

• 高村 禅

  北陸先端科学技術大学院大学

• 浦岡 行治

  奈良先端大

• SONG JongHyeong

  Tohoku University

• 一木 隆範

  東大院・工・バイオエンジニアリング

• 平本 俊郎

  東大

• 平本 俊郎

  東京大学生産技術研究所:mirai-selete

• 湯上 浩雄

  東北大学大学院工学研究科

• 小田 俊理

  東工大工

• 小田 俊理

  東工大量子ナノ研:sorst-jst

• 小田 俊理

  東京工業大学量子ナノエレクトロニクス研究センター

• ODA Shunri

  Research Center for Quantum Effect Electronics, Tokyo Institute of Technology

• 高橋 庸夫

  北海道大学大学院情報科学研究科

• 松井 真二

  兵庫県立大高度研

• 森 伸也

  阪大院工

• 森 伸也

  阪大工

• 辰巳 哲也

  ソニー(株)半導体事業本部セミコンダクターテクノロジー開発部門

• 辰巳 哲也

  技術研究組合 超先端電子技術開発機構 プラズマ技術研究室

• 鳥海 明

  東大

• 金田 千穂子

  富士通研

• 小田中 紳二

  阪大

• 宮崎 誠一

  広大院先端研

• 芝 和宏

  NEC 関西エレクトロニクス研究所

• 金田 千穂子

  富士通研究所

• 石田 誠

  豊橋技科大

• 井谷 俊郎

  Selete

• 上野 和良

  芝浦工大

• 坂本 邦博

  産総研

• 芝原 健太郎

  広大

• 須田 良幸

  農工大

• 高橋 庸夫

  北大

• 久本 大

  日立

• 廣瀬 和之

  宇宙研

• 水野 文二

  UJTラボ

• 須田 良幸

  農工大・工

• 一木 隆範

  東洋大学・工

• 新宮原 正三

  関西大

• 井谷 俊郎

  日本電気ULSIデバイス開発研究所

• 鳥海 明

  東大・物工

• 鳥海 明

  東大院工

• 青柳 誠司

  関西大学システム理工学部機械工学科

• 青柳 誠司

  関西大学

• 辰巳 哲也

  ソニー

• 高村 禅

  北陸先端大

• 森 伸也

  阪大

• 小野 崇人

  東北大学大学院工学研究科

• 小田 俊理

  東工大

• 芝 和宏

  日本電気(株)関西エレクトロニクス研究所

• 鮫島 英久

  東北大学

• 涌井 雅史

  東北大学

• 趙 洋

  東北大学

• 高橋 庸夫

  東北大・工

• 高橋 庸夫

  北海道大学 大学院情報科学研究科

• 平田 徹

  住友重機械工業(株)平塚研究所

• Minami K

  Mechanical Engineering Faculty Of Engineering Yainaguchi University

• 井谷 俊郎

  Nec

• Hiramoto Toshirou

  Device Development Center Hitachi Ltd.

• Hiramoto Toshiro

  The Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo:vlsi Design And Education Center The Uni

• Hiramoto Toshiro

  Institute Of Industrial Science University Of Tokyo

• Hiramoto Toshiro

  Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo

• Hiramoto T

  Univ. Tokyo

• Hiramoto Toshiro

  Vlsi Design And Education Center University Of Tokyo

• 宮崎 誠一

  広大

• 松井 真二

  兵庫県立大

• 井上 文彬

  岐阜工業高等専門学校専攻科電子システム工学専攻

• 高橋 庸夫

  日本確信電話(株)ntt物性科学基礎研究所

• Oda S

  Tokyo Inst. Technology Tokyo Jpn

• Oda S

  Tokyo Inst. Technol. Tokyo Jpn

• Oda Shunri

  Quantum Nanoelectronics Research Center Tokyo Institute Of Technology

• Oda Shunri

  Research Center For Quantum Effect Electronics And Department Of Physical Electronics Tokyo Institut

• Oda Shunri

  The Graduate School At Nagatsuta Tokyo Institute Of Technology

• 青柳 誠司

  金沢大学工学部

• 三玉 一郎

  住友重機械工業(株)

• 牧田 紀久夫

  日本電気(株)光・超高周波デバイス研究所

• 伊藤 善規

  (株)ハーモニック・ドライブ・システムズ

• 伊藤 善規

  Harmonic Drive Systems

• 見田村 宗雄

  (株)ハーモニック・ドライブ・システムズ

• 那須 祐治

  関西電力株式会社 大阪北電力所 野江電力システムセンター

• 中島 健作

  岐阜工業高等専門学校専攻科電子システム工学専攻

• MIURA Kousuke

  Department of Mechatronics and Precision Engineering, Tohoku University

• MINAMI Kazuyuki

  Mechanical Engineering, Faculty of Engineering, Yainaguchi University

• 一木 隆範

  東大

• 一木 隆範

  東京大学大学院工学系研究科バイオエンジニアリング専攻

• 齋 均

  豊田工大

• YAHAGI Hiroto

  Department of Mechatronics and Precision Engineering, Tohoku University

• ONO Takahiro

  Department of Mechatronics and Precision Engineering, Tohoku University

• 高橋 庸夫

  北海道大学情報科学研究科

• 阿部 昌博

  住友重機械工業(株)技術開発センター

• 小野 崇人

  東北大

• Ono Takahito

  Department Of Mechanical System And Design Graduate School Of Engineering Tohoku University

• 吉田 佳一

  マイクロ化学プロセス技術研究組合:島津製作所

• Hiramoto Toshiro

  The Authors Are With Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo:the Author Is With Vlsi

• 小田 俊理

  東京工業大学総合理工学研究科

• Hiramoto Toshiro

  Vlsi Design And Education Center The University Of Tokyo

• 平田 徹

  住友重機械工業

• 平田 徹

  住友重機械工業(株)技術開発センター

• 平田 徹

  住友重機械工業(株)技術開発センター成膜微細加工グループ

• Kumar Singh

  東北大学

• Yahagi Hiroto

  Department Of Mechatronics And Precision Engineering Tohoku University

• 湯上 浩雄

  東北大 科研

• 齋 均

  東北大学大学院工学研究科

• Minami Kazuyuki

  Mechanical Engineering Faculty Of Engineering Yainaguchi University

• 一木 隆範

  東大 大学院工学系研究科

• Miura Kousuke

  Department Of Mechatronics And Precision Engineering Tohoku University

• 穂苅 遼平

  東北大学

• 一木 隆範

  東京大学 大学院工学系研究科 バイオエンジニアリング専攻

• ISHIMORI Masahiro

  Department of Mechatronics and Precision Engineering, Tohoku University

• 三玉 一郎

  住友重機械工業(株)技術開発センター

• 結城 慎也

  東北大学

• 能川 真一郎

  東北大学

• 金森 義明

  東北大

• 牧田 紀久夫

  日本電気(株) 光・超高周波デバイス研究所

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著作論文

• 配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ : (2)露光(講座「ちょっとMEMS」第9回)
• 配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ : (1)成膜(講座「ちょっとMEMS」第8回)
• アセンブリを支援するMEMS構造(講座「ちょっとMEMS」第7回)
• MEMSデバイス製作とアセンブリをマッチングする試み(講座「ちょっとMEMS」第6回)
• 高密度プラズマの光マイクロマシンへの応用(高密度プラズマとその応用技術の最前線)
• Tunable Vertical Comb for Driving Micromirror Realized by Bending Device Wafer(Micro/Nano Photonic Devices,Microoptomechatronics)
• Micromirror with Two Parallel Rotation Axes for External Cavity Diode Laser(Micro/Nano Photonic Devices,Microoptomechatronics)
• 光通信デバイスのためのMEMS (特集 光ネットワーク時代の光技術)
• MEMS構造を利用した光集積型センサ
• 位相シフトマスクを利用した立体サンプルの露光法
• 位相シフトマスクを利用した立体サンプルへの微細パターン露光法
• 分割した櫛歯電極型静電駆動アクチュエータ
• リットマン型外部共振器波長可変レーザ用ミラーデバイスの開発
• (2)細胞の力学特性計測のためのレーザ顕微鏡組込み型原子間力顕微鏡(AFM)システムの開発(論文,日本機械学会賞〔2004年度(平成16年度)審査経過報告〕)
• 集光用可変ミラーの変形に及ぼす支持フレームの影響
• シリコン技術
• シリコン基板上の酸化ハフニウム膜の窒化によるバッファ層の形成とGaN結晶の成長
• 光MEMSのためのSi基板上GaN量子井戸結晶のMBE成長
• SOIウエハから製作されたミラーの形状測定と応力解析
• C-3-113 MEMSを用いたサージ光抑制器の開発(C-3. 光エレクトロニクス, エレクトロニクス1)
• MEMSを応用した投影型エンコーダの開発
• ファイバ型光制御デバイスのための三次元的微細加工
• 光ファイバの微細加工とその応用
• Tunable Fiber Bragg Grating Combined with Microactuator
• 光通信用ナノマシン (特集 光マイクロ・ナノマシン)
• シリコンマイクロマシニングと集積化技術
• 光MEMS用マイクロアクチュエータ(情報機器と光関連技術,W17 情報・知能・精密機器部門)
• 光マイクロマシンと集積化
• MEMS技術による光学システムの集積化--集積化を目指したMEMSと光学システムの組み合わせについて
• 光 MEMSのための表面微細加工と集積化技術
• Fabrication of High-Accuracy Microtranslation Table for Near-Field Optical Data Storage Actuated by Inverted Scratch-Drive Actuators
• 523 櫛歯電極型静電アクチュエータを用いた大変位XYステージ(ロボティクス,2.学術講演)
• 1515 周期的表面微細構造による高融点金属からの熱放射スペクトル制御
• レジストスプレーコーティングの特性と反応
• GaN発光素子とSi-MEMSの融合を目指して (特集 進展するMEMS技術--様々なアプリケーションに向けて)
• 曲げモーメント駆動による焦点可変放物面ミラーの設計と製作
• ナノテク最前線 光MEMSの新展開:サブ波長光学のためのMEMS
• W2 光MEMS開発の現状と材料力学的評価技術の必要性(技術ワークショップ『MEMS開発の最新動向と材料力学への期待』)
• ナノテク最前線 高機能マイクロミラーデバイス--小型かつ付加価値の高いミラーデバイスへの試み
• ナノテク最前線 光学系一体型の近接場光プローブ
• 研究室紹介 東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻メカノプティクス分野--光集積とメカノプティクス
• 細いフレームを持つ焦点可変ミラーの SOI ウエハ残留応力による変形
• 光 MEMS の情報デバイスへの展開
• 光でつくるマイクロ・ナノ機械:光リソグラフィによる立体加工 (特集 光ナノ加工)
• WS-06 NANO/MICRO-TECHNOLOGIES FOR HIGH DENSITY DATA-STORAGE AND OPTICAL APPLICATIONS
• Subwavelength Antirefiection Gratings for Light Emitting Diodes and Photodiodes Fabricated by Fast Atom Beam Etching
• 引張応力のあるトーションバーを用いた静電駆動型ミラーデバイス
• 細胞の力学特性計測のためのレーザ顕微鏡組込み型原子間力顕微鏡(AFM)システムの開発(機械力学,計測,自動制御)
• SC-10-3 マイクロマシニングによる集積型光学システムの制作
• Si基板折り曲げにより実現する立体的マイクロ光学ベンチ
• ノーベル化学賞の背景と工学技術(精密工学の最前線株式会社島津製作所)
• 立体的マイクロマシニングのためのレジストスプレーコーティング
• 光ファイバー先端に形成したマイクロレンズ (特集 マイクロレンズの最新動向)
• 光計測技術の展望 : センサーネットワーク
• 19.11.マイクロメカトロニクス(19.情報・精密機械)(機械工学年鑑)
• 近接場科学のエンジニアリングへの展開を期待して(近接場科学の工学応用をめざして)
• 光クロスコネクト用マイクロミラー
• ミラースキャナ
• 19.12.マイクロメカトロニクス(19.情報・精密機械)(機械工学年鑑)
• 光通信用MEMSの進展(第2部 : ITを支える機械工学)
• 細いフレームを持つ焦点可変ミラーのSOIウエハ残留応力による変形

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