配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ : (1)成膜(講座「ちょっとMEMS」第8回)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 社団法人エレクトロニクス実装学会の論文
- 2008-05-01
著者
-
青柳 誠司
関西大学工学部
-
佐々木 実
Dept. Of Advanced Science And Technology Toyota Technological Institute
-
佐々木 実
豊田工業大学
-
羽根 一博
東北大学
-
青柳 誠司
関西大学システム理工学部機械工学科
-
青柳 誠司
関西大学
-
Hane Kazuhiro
Department Of Mechatronics & Precision Engineering Tohoku University
-
Hane Kazuhiro
Faculty Of Engineering Tohoku University
-
Sasaki M
Department Of Physics. Faculty Of Sciences Yamagata University
-
青柳 誠司
金沢大学工学部
-
Sasaki Masahiro
Institute Of Applied Physics University Of Tsukuba
-
羽根 一博
東北大学大学院
-
羽根 一博
東北大学大学院工学研究科
関連論文
- 無指向性超音波センサと無線通信を併用した室内ロボット用高精度位置・姿勢計測システムの開発
- 超音波センサを用いた移動ロボットのナビゲーションシステムの開発(第二報) -三次元空間における位置検出精度検証-
- 段差乗り越えを目的とした車椅子の改良に関する研究
- 超音波センサを用いた物体形状の識別に関する研究
- 超音波センサを用いた移動ロボットのナビゲーションシステムの開発(第一報) -概念とシステムの試作-
- クォータニオンを用いたフィードフォワードオンラインポーズ遺伝的認識法
- 配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ : (2)露光(講座「ちょっとMEMS」第9回)
- Compact Triangulation Sensor Realized by Bending Si Wafer with Optical Elements at Metal Hinges
- 配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ : (1)成膜(講座「ちょっとMEMS」第8回)
- アセンブリを支援するMEMS構造(講座「ちょっとMEMS」第7回)
- MEMSデバイス製作とアセンブリをマッチングする試み(講座「ちょっとMEMS」第6回)
- 高密度プラズマの光マイクロマシンへの応用(高密度プラズマとその応用技術の最前線)
- Tunable Vertical Comb for Driving Micromirror Realized by Bending Device Wafer(Micro/Nano Photonic Devices,Microoptomechatronics)
- Micromirror with Two Parallel Rotation Axes for External Cavity Diode Laser(Micro/Nano Photonic Devices,Microoptomechatronics)
- Angled exposure method for pattering on three-dimensional structures (Special issue: Microprocesses & nanotechnology)
- 光通信デバイスのためのMEMS (特集 光ネットワーク時代の光技術)
- MEMS構造を利用した光集積型センサ
- 位相シフトマスクを利用した立体サンプルの露光法
- 位相シフトマスクを利用した立体サンプルへの微細パターン露光法
- 分割した櫛歯電極型静電駆動アクチュエータ
- Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror (Special Issue: Solid State Devices & Materials)
- Micro-Heater Array for Tunable Fiber-Bragg Grating
- Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror
- リットマン型外部共振器波長可変レーザ用ミラーデバイスの開発
- (2)細胞の力学特性計測のためのレーザ顕微鏡組込み型原子間力顕微鏡(AFM)システムの開発(論文,日本機械学会賞〔2004年度(平成16年度)審査経過報告〕)
- Compact Triangulation Sensor Array Constructed by Wafer Bending
- 電気的ビーム走査を目的としたマイクロアレイ型超音波センサの開発
- PZT薄膜を用いたアレイ型超音波マイクロセンサ
- マイクロアレイ超音波センサ用BBD半導体集積回路の開発
- 2A1-79-121 神経振動子を用いたリズミックな打撃運動パターンの生成
- マルチモード干渉を利用したSi光導波路の平面交差とその慣性センサへの応用
- 4222 パリレンを用いた静電容量型マイクロ超音波センサの開発(J24-2 生産機械のマイクロ化(2))
- フッ素系樹脂を用いた超音波マイクロアレイセンサの特性改善
- フッ素系樹脂を用いた超音波マイクロセンサの特性改善
- フッ素系樹脂を用いた超音波マイクロセンサ作製プロセス
- 偏重型フォトダイオードアレイを用いた絶対位置検出光エンコーダ
- 1126 変調型のフォトダイオードアレイを用いた絶対位置計測用光エンコーダ
- 一回転整合円筒面回転リソグラフィ装置の開発
- 変調型フォトダイオードを用いた光学式エンコーダ
- 衝撃力と衝撃モーメントを先端に受ける片持ち梁の弾性振動論による衝突運動解析 : モード関数が直交しない場合の解析手法
- 超音波による運動物体の3次元姿勢計測システムの開発とクレーンの振動制御への応用
- ジャイロを用いたロボットの姿勢計測に関する研究(第2報) : レーザトラッキングシステムとジャイロを併用したロボットの位置・姿勢キャリブレーション手法の提案
- 超音波によるロボットの3次元位置・姿勢計測(第4報) : 動的位置計測システムの開発と実際のロボットの静的・動的位置計測
- レーザトラッキングシステムを用いたロボットのキャリブレーションに関する研究(第2報) : 多点位置決め法におけるパラメータ, 測定点数, 測定ポーズの選択に関する検討
- レーザトラッキングシステムを用いたロボットのキャリブレーションに関する研究(第1報) : ロボットの絶対位置決め精度の検証と対偶軸同定法の問題点の指摘
- ジャイロを用いたロボットの姿勢計測に関する研究(第1報) : 概念および高精度ターンテーブルを用いた精度検証実験
- 移動ロボットのためのランドマーク認識による位置姿勢の計測(第2報)
- 簡易バーコードランドマークの画像認識と傾斜補正による移動ロボットの位置・姿勢計測
- 2P1-S-066 ニューラルネットワークを用いた分布型触覚センサによる接触状態の判定(進化・学習とロボティクス5,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)
- 1P2-N-028 障害物に拘束された冗長ロボットの逆運動学問題の解法 : 2つの厚い壁の隙間の通り抜け(冗長自由度ロボット・メカニズムとその制御,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)
- 1P1-N-083 視覚と力覚のセンサフュージョンによるロボットの面倣い作業(3次元計測/センサフュージョン2,生活を支援するロボメカ技術のメガインテグレーション)
- FET動作を用いた増幅型静電容量圧力センサの作製
- コンデンサ型超音波センサにおけるダンピングホールの最適設計
- 2825 エキシマレーザによる生分解性ポリマー製ニードルへのマイクロ穴加工(S08-1 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開(1),S08 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開)
- マイクロマシン技術を応用した微小ランセット針の作製
- C-3-113 MEMSを用いたサージ光抑制器の開発(C-3. 光エレクトロニクス, エレクトロニクス1)
- 薄膜光検出器を用いた集積型粗微動変位センサ
- リサイクル作業を想定したサポートベクタマシンによる電子回路基板からのコンデンサ部品の画像抽出
- テラビット級超高密度情報記憶ストレージのナノテクノロジー開発
- テラビット級超高密度情報ストレージのナノテクノロジー開発
- 電磁アクチュエータを用いた波長可変ファイバグレーティングフィルタの開発
- 離散時間センシングによる移動ロボットの軌道のフィードバック制御
- 投影型エンコーダの集積化に関する研究
- Dynamic Studies of Transport Properties of γ-Mo_4O_ Crystals Using Photoinduced Transient Thermoelectric Effect under Static Electric Field
- Improved Automatic Alignment of Pinhole Integrated with Photodiode
- Si Micromachined Pinhole and Surrounding Photodiode for Incident Beam Position Sensing and Automatic Alignment
- Automatic Alignment of Optical System Using Shape Memory Alloy
- マイクロ・ロボット用センサ・アクチュエータの開発とその評価プロジェクト
- RECSコンセプトによる福祉ロボットの開発 : 洗濯後の衣類畳み作業(ホームロボット・メカトロニクス1)
- Tunable Fiber Bragg Grating Combined with Microactuator
- シリコンマイクロマシニングと集積化技術
- 光MEMS用マイクロアクチュエータ(情報機器と光関連技術,W17 情報・知能・精密機器部門)
- 光マイクロマシンと集積化
- MEMS技術による光学システムの集積化--集積化を目指したMEMSと光学システムの組み合わせについて
- 光 MEMSのための表面微細加工と集積化技術
- Fabrication of High-Accuracy Microtranslation Table for Near-Field Optical Data Storage Actuated by Inverted Scratch-Drive Actuators
- 4223 PZT基板とパリレンフィルムを用いたマイクロ加速度センサの開発(J24-2 生産機械のマイクロ化(2))
- モーションキャプチャ装置を利用したLEDペアの順次点灯による人間の指の動作計測システムの開発
- 微量血液検査システムのための微小注射針の作製
- 1125 薄膜フォトダイオードを用いた小型精密距離センサ
- マイクロ干渉計用薄膜光センサの光検出特性
- Cantilever Probe Integrated with Light-Emitting Diode, Waveguide, Aperture, and photodiode for Scanning Near-Field Optical Microscope
- Fabrication of Hollow Cylinder Shape Permalloy on the Si Pole
- Local Tunneling Barrier Height Measurement on Au(111)
- Moire-like Distribution of Local Tunneling Barrier Height of the Monolayer Graphite Adsorbed on Pt(111) Surface
- RECSによるリサイクル作業の自動化 : パーソナルコンピュータの解体作業
- センサ制御の高速化:箱へのつみこみ作業と予測制御
- センサー付きピン挿入作業の高速化
- 移動ロボットの軌道追従のフィードバック制御
- 軌道計画と軌道更新に基づくSTS制御の実現手法の提案とオープンアーキテクチャ型ロボットを用いたその有効性の実験的検証
- 538 マイクロキャピラリの製造方法とその機械強度評価
- 自動解体信関する基礎的研究 : 時間ペトリネットを用いた並列的解体作業工程のモデル化
- ロボットハンドによる物体の把持・操りのシミュレータの開発
- 人間の指・腕の動作解析とロボットハンドへの応用(第1報) -概念とVicon370を用いた実験結果
- タッピングを伴うプローブメモリ用カンチレバの振動解析に関する研究(第二報)
- タッピングを伴うプローブメモリ用カンチレバの振動解析に関する研究(第一報)
- 超音波パルスの反射波形を利用した物体形状の識別に関する研究
- 超音波センサを用いた動作形状の識別に関する研究(第2報) -超音波反射波形を用いた物体認識の有効性の検討-
- 関西大学ハイテク･リサｰチ･センタｰ｢マイクロロボット用センサ･アクチュエｰタの開発とその評価｣プロジェクト
- マイクロ・ロボット用センサ・アクチュエータの開発とその評価 (産学連携への掛け橋)