フッ素系樹脂を用いた超音波マイクロセンサ作製プロセス
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概要
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- 2005-06-22
著者
-
奥山 雅則
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
青柳 誠司
関西大学工学部
-
山下 馨
大阪大学基礎工学研究科
-
田中 恒久
大阪府立産業技術総合研究所
-
井上 幸二
大阪府立産業技術総合研究所
-
李 昇穆
Ingen MSL
-
青柳 誠司
関西大学システム理工学部機械工学科
-
青柳 誠司
関西大学
-
奥山 雅則
大阪大学
-
山下 馨
京都工芸繊維大学大学院工芸科学研究科
-
李 昇穆
大阪府立産業技術総合研究所
-
山下 馨
大阪大学 基礎工学部
-
青柳 誠司
金沢大学工学部
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