適度な傾斜形状を有するCr/Siマイクロカンチレバー構造を用いた多軸触覚センサの作製と評価
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概要
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- 2007-07-02
著者
-
寒川 雅之
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
金島 岳
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
奥山 雅則
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
野間 春生
国際電気通信基礎技術研究所
-
野間 春生
ATR
-
奥山 雅則
大阪大学基礎工学研究科
-
山下 馨
大阪大学基礎工学研究科
-
野田 実
京都工芸繊維大学大学院工芸科学研究科
-
野間 春生
(株)国際電気通信基礎技術研究所知能ロボティクス研究所
-
黄 裕銘
大阪大学
-
池田 正哲
オムロン
-
野田 実
京都工芸繊維大学
-
奥山 雅則
大阪大学
-
寒川 雅之
大阪大学 大学院 基礎工学研究科
-
山下 馨
京都工芸繊維大学大学院工芸科学研究科
-
金島 岳
大阪大学
-
山下 馨
大阪大学 基礎工学部
-
金島 岳
大阪大学大学院基礎工学研究科物理系専攻
-
野間 春生
国際電気通信基礎技術研
-
寒川 雅之
大阪大学
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