PZT膜を用いた特定音波検知マイクロセンサの作製とその特性
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概要
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- 2002-09-19
著者
-
奥山 雅則
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
鈴木 義彦
大阪府立産業技術総合研究所
-
鈴木 義彦
大阪府立産業技術総合研究所 材料技術部
-
井上 幸二
大阪府立産業技術総合研究所
-
鈴木 義彦
独立行政法人科学技術振興機構 研究成果活用プラザ大阪
-
山下 馨
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
村上 修一
大阪府立産業技術総合研究所 材料技術部
-
高松 繁男
日立造船株式会社 技術本部 技術研究所
-
北野 智子
日立造船株式会社
-
木下 正生
日立造船株式会社
-
村上 修一
大阪府立産業技術総合研究所
-
山下 馨
京都工芸繊維大学大学院工芸科学研究科
-
奥山 雅則
大阪大学大学院 基礎工学研究科 ナノサイエンスデザイン教育研究センター
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