PZT膜を用いた特定音波検知マイクロセンサの作製とその特性
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2002-09-19
著者
-
奥山 雅則
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
鈴木 義彦
大阪府立産業技術総合研究所
-
鈴木 義彦
大阪府立産業技術総合研究所 材料技術部
-
井上 幸二
大阪府立産業技術総合研究所
-
鈴木 義彦
独立行政法人科学技術振興機構 研究成果活用プラザ大阪
-
山下 馨
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
村上 修一
大阪府立産業技術総合研究所 材料技術部
-
高松 繁男
日立造船株式会社 技術本部 技術研究所
-
北野 智子
日立造船株式会社
-
木下 正生
日立造船株式会社
-
村上 修一
大阪府立産業技術総合研究所
-
山下 馨
京都工芸繊維大学大学院工芸科学研究科
-
奥山 雅則
大阪大学大学院 基礎工学研究科 ナノサイエンスデザイン教育研究センター
関連論文
- 触覚センサアレイを用いたHMMによる把持面状態の識別手法(感性情報処理とマルチメディア技術および一般)
- Hf(O-t-C_4H_9)_4を用いた光アシストMOCVDによるHfO_2薄膜の作製と評価(ゲート絶縁膜, 容量膜, 機能膜及びメモリ技術)
- 超音波マイクロアレイセンサ用加算機能付きBBDの開発
- PZT圧電体膜を用いた異常音検知マイクロセンサの作製とその評価
- BBD遅延加算回路を用いた超音波計測システムの開発
- PZT膜を用いた特定音波検知マイクロセンサの作製とその特性
- 電気的ビーム走査を目的としたマイクロアレイ型超音波センサの開発
- PZT薄膜を用いたアレイ型超音波マイクロセンサ
- マイクロアレイ超音波センサ用BBD半導体集積回路の開発
- 大阪府先導的研究 : 「スーパーアイ・イメージセンサ研究開発」について