酸化物強誘電体薄膜とデバイス応用

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概要

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• 日本表面科学会の論文
• 1996-11-10

著者

• 奥山 雅則

  大阪大学大学院基礎工学研究科

• 奥山 雅則

  大阪大学基礎工学研究科

• 奥山 雅則

  大阪大学基礎工学部電気工学科

• 奥山 雅則

  阪大基礎工

• 奥山 雅則

  大阪大学 基礎工学研究科

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