SPing-8アンジュレータ光によるSiO_2膜の軟X線エッチングとSiの酸化・窒化
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2000-01-01
著者
-
金島 岳
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
奥山 雅則
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
大橋 治彦
(財)高輝度光科学研究センター
-
高馬 悟覚
大阪大学大学院基礎工学研究科物理系専攻機能材料デバイス講座
-
毎田 修
大阪大学産業科学研究所セラミック機能材料分野
-
大橋 治彦
高輝度光科学研究センター放射光研究所
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奥山 雅則
大阪大学
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金島 岳
大阪大学
-
毎田 修
大阪大学
-
高馬 悟覚
大阪大学
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