構造的応力制御によるSiO_2ダイアフラム上圧電型超音波マイクロセンサの感度変化
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概要
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- 2008-06-12
著者
-
奥山 雅則
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
奥山 雅則
大阪大学基礎工学研究科
-
山下 馨
京都工芸繊維大学
-
野田 実
京都工芸繊維大学大学院工芸科学研究科
-
吉崎 智也
大阪大学
-
野田 実
京都工芸繊維大学
-
奥山 雅則
大阪大学
-
山下 馨
京都工芸繊維大学大学院工芸科学研究科
-
渡邊 友浩
大阪大学
-
奥山 雅則
阪大基礎工
-
奥山 雅則
大阪大学 基礎工学研究科
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