MEMS技術を用いた次世代ロボット用多軸触覚センサの作製(センサーデバイス,MEMS,一般)
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概要
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エラストマー内に埋め込まれたマイクロカンチレバー構造を用いた圧力と剪断力を同時に計測できる多軸触覚アレイセンサの設計・作製を行った.Cr/Si二層構造を用いることで,圧力・剪断力双方で変形する傾斜形状のカンチレバーを作製できた.傾斜カンチレバー構造はエラストマー内に破損や変形なしに埋め込むことができ,表面の柔らかい触覚センサを実現できた.対向したカンチレバーの垂直圧力印加に対する出力は同符号となり,一方剪断力印加に対しては異符号となったので,出力の和・差分を取ることで圧力・剪断力を分離して計測可能であることを示した.また,剪断力の方向については,印加した方向のカンチレバーの出力電圧は大きく,それと垂直な方向のカンチレバーは小さかったため,これらの出力から剪断力の方向を検知することができると考えられる.
- 2009-07-23
著者
-
寒川 雅之
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
金島 岳
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
奥山 雅則
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
野間 春生
国際電気通信基礎技術研究所
-
野間 春生
ATR
-
奥山 雅則
大阪大学基礎工学研究科
-
山下 馨
京都工芸繊維大学
-
野田 実
京都工芸繊維大学大学院工芸科学研究科
-
野間 春生
(株)国際電気通信基礎技術研究所知能ロボティクス研究所
-
野間 春生
株式会社国際電気通信基礎技術研究所
-
野田 実
京都工芸繊維大学
-
山下 馨
京都工芸繊維大学大学院工芸科学研究科
-
金島 岳
大阪大学
-
奥山 雅則
大阪大学大学院 基礎工学研究科 ナノサイエンスデザイン教育研究センター
-
奥山 雅則
阪大基礎工
-
金島 岳
大阪大学大学院基礎工学研究科物理系専攻
-
奥山 雅則
大阪大学 基礎工学研究科
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