毎田 修 | 大阪大学産業科学研究所セラミック機能材料分野

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概要

• 同名の論文著者
• 大阪大学産業科学研究所セラミック機能材料分野の論文著者

関連著者

• 奥山 雅則

  大阪大学大学院基礎工学研究科

• 毎田 修

  大阪大学産業科学研究所セラミック機能材料分野

• 金島 岳

  大阪大学

• 毎田 修

  大阪大学

• 金島 岳

  大阪大学大学院基礎工学研究科

• 大橋 治彦

  (財)高輝度光科学研究センター

• 高馬 悟覚

  大阪大学大学院基礎工学研究科物理系専攻機能材料デバイス講座

• 大橋 治彦

  高輝度光科学研究センター放射光研究所

• 高馬 悟覚

  大阪大学

• 上野 正人

  大阪大学大学院基礎工学研究科物理系専攻機能材料デバイス講座

• 北井 聡

  大阪大学大学院基礎工学研究科物理系専攻機能材料デバイス講座

• 奥山 雅則

  大阪大学

• 金島 岳

  大阪大学基礎工学研究科

• 奥山 雅則

  大阪大学基礎工学研究科

• 奥本 雅規

  大阪大学大学院基礎工学研究科物理系専攻機能材料デバイス講座

• 阿形 真司

  大阪大学

• 弓達 新治

  大阪大学

• 奥山 雅則

  大阪大学大学院 基礎工学研究科 ナノサイエンスデザイン教育研究センター

• 上野 正人

  大阪大学基礎工学研究科物理系機能材料デバイス講座

• 北井 聡

  大阪大学基礎工学研究科物理系機能材料デバイス講座

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著作論文

• 軟X線アブレーションによるPTFE低誘電率膜の作製
• SPing-8アンジュレータ光によるSiO_2膜の軟X線エッチングとSiの酸化・窒化
• Figure-8 アンジュレータによるSiO_2膜の軟X線エッチングおよび評価
• レーザーアブレーション法による高誘電率ZrO_2薄膜の作製とその評価

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