偏重型フォトダイオードアレイを用いた絶対位置検出光エンコーダ
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概要
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In this paper, a compact absolute optical linear encoder is proposed. The index scale of the proposed encoder has the two track (80 μm and 2 mm pitches), which consist of the pitch-modulated grating and slit-width-modulated grating, respectively. Using the modulated gratings, the harmonic noises of the encoder signals are decreased. Moreover, the respective lines of the slit-width-modulated grating are divided and re-distributed in the index scale to suppress the sensing error due to the contamination on the scale. By fabricating the index scale with silicon photodiode arrays, the proposed advantages are confirmed experimentally.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2001-02-25
著者
-
佐々木 実
Dept. Of Advanced Science And Technology Toyota Technological Institute
-
羽根 一博
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
佐々木 実
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
梨木 政行
(株)デンソー 開発部
-
梨木 政行
オークマ(株)研究開発部
-
松井 圭司
オークマ(株)
-
家城 淳
オークマ(株)
-
横山 将史
オークマ(株)
-
Sasaki M
Department Of Physics. Faculty Of Sciences Yamagata University
-
羽根 一博
東北大学大学院
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