共通光路型光ヘテロダイン干渉計を用いた走査型力顕微鏡
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概要
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In this paper, the scanning force microscope (SFM) using optical heterodyne interferometry is reported. The birefringent double-focus lens was used as a beam splitter-recombiner, and thus, the two interfering beams passed through a common optical path and the reference plane of the interferometer was located on the sample surface. Therefore, the deflection of the cantilever was detected without being affected by the irregular movement of the stage and the environmental conditions, such as thermal and vibrational disturbances. Since the SFM system was combined with a laser interferometric microscope and a conventional optical microscope, the sample was positioned easily by the visual inspection, and it was measured by the laser interferometry.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1993-11-05
著者
-
大熊 繁
名古屋大学
-
佐々木 実
Dept. Of Advanced Science And Technology Toyota Technological Institute
-
羽根 一博
名古屋大学工学部
-
藤田 一彦
ブラザー工業(株):(現)岐阜工業高等専門学校
-
別所 芳則
ブラザー工業(株)
-
日野 元人
ブラザー工業(株)
-
佐々木 実
名古屋大学大学院
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