Tunable Vertical Comb for Driving Micromirror Realized by Bending Device Wafer(Micro/Nano Photonic Devices,<Special Section>Microoptomechatronics)
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概要
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An electrostatically driven micromirror is described. The vertical comb of a three-dimensional microstructure is realized by bending the device wafer having microstructures. By resetting the bending angle, the tuning of the vertical gap between moving and stationary combs is possible. The characteristics of the vertical comb drive actuator can be tuned, confirming the performance.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-01-01
著者
-
佐々木 実
Dept. Of Advanced Science And Technology Toyota Technological Institute
-
羽根 一博
東北大学
-
SASAKI Minoru
Tohoku University
-
ISHIMORI Masahiro
Tohoku University
-
SONG JongHyeong
Tohoku University
-
HANE Kazuhiro
Tohoku University
-
Hane Kazuhiro
Department Of Mechatronics & Precision Engineering Tohoku University
-
Hane Kazuhiro
Faculty Of Engineering Tohoku University
-
Sasaki M
Department Of Physics. Faculty Of Sciences Yamagata University
-
Sasaki Masahiro
Institute Of Applied Physics University Of Tsukuba
-
羽根 一博
東北大学大学院
-
羽根 一博
東北大学大学院工学研究科
-
Hane Kazuhiro
Tohoku Univ. Jpn
-
Hane Kazuhiro
Tohoku Univ. Dept. Of Nanomechanics
-
Sasaki Minoru
Tohoku Univ. Dept. Of Nanomechanics
-
Hane Kazuhiro
Tohoku Univ.
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