Detection of Metastable Chlorine Ions in Time-Modulated Plasma by Time Resolved Laser-Induced Fluorescence
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概要
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Metastable chlorine ions (Cl^<+*>) were detected in time-modulated inductively coupled plasma by a time-resolved laser-induced fluorescence technique. By varying the rf power, gas pressure and modulation frequency, the Cl^<+*> density was measured in detail. In the discharge-on period, the Cl^<+*> density increased as the rf power increased. In the discharge-off period, the rf power decreased within 1 μs, however, the Cl^<+*> density decreased more slowly and persisted for a while. The decay constant was evaluated to be around 10 μs by fitting the decay curve under our experimental conditions. In addition, the diffusion coefficient of Cl^<+*> was also estimated.
- 社団法人応用物理学会の論文
- 1999-12-30
著者
-
佐々木 実
Dept. Of Advanced Science And Technology Toyota Technological Institute
-
小柳 光正
東北大学大学院工学研究科機械知能工学専攻知能システム設計学研究室
-
Kumagai S
Tohoku Univ. Sendai Jpn
-
Sasaki M
Department Of Physics. Faculty Of Sciences Yamagata University
-
羽根 一博
東北大学大学院
-
Kumagai Shinya
Department Of Physics School Of Science And Technology Meiji University
-
Koyanagi Mitsumasa
Department Of Bioengineering And Robotics Graduate School Of Engineering Tohoku University
-
Hane Kazuhiro
Department Of Electronic Mechanical Engineering Faculty Of Engineering Nagoya University
-
Sasaki Minoru
Department Of Acoustic Design Kyushu Institute Of Design
-
Kumagai Shinya
Department of Advanced Science and Technology, Toyota Technological Institute, 2-12-1, Hisakata, Tenpaku-ku, Nagoya 468-8511, Japan
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