引張応力のあるトーションバーを用いた静電駆動型ミラーデバイス
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概要
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- 2004-05-13
著者
-
佐々木 実
Dept. Of Advanced Science And Technology Toyota Technological Institute
-
羽根 一博
東北大学
-
佐々木 実
東北大学
-
Hane Kazuhiro
Department Of Mechatronics & Precision Engineering Tohoku University
-
Sasaki M
Department Of Physics. Faculty Of Sciences Yamagata University
-
Sasaki Masahiro
Institute Of Applied Physics University Of Tsukuba
-
羽根 一博
東北大学大学院
-
羽根 一博
東北大学大学院工学研究科
-
結城 慎也
東北大学
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